Gebraucht MICROTRAC Nanotrac 150 #9074226 zu verkaufen

MICROTRAC Nanotrac 150
ID: 9074226
Particle inspection system Range: Measurement capability from 0.0008 to 6.5 microns Rapid analysis: 15-30 seconds.
MICROTRAC Nanotrac 150 ist eine multifunktionale Ausrüstung für die Wafer-Endpunktanalyse in einer Vielzahl von Anwendungen, die von der grundlegenden Oberflächenqualitätsprüfung bis zur hochentwickelten Messtechnik reichen. Es kombiniert die Kraft von dynamischen und passiven Techniken, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Als dynamische Technik verwendet Nanotrac 150 ein Rasterelektronenmikroskop, um eine Reihe von Bildern zu erzeugen, die eine Echtzeit-dreidimensionale Ansicht der Oberfläche des Wafers liefern. Neben der topographischen Analyse kann das System auch Messungen der Größe von Merkmalen, Fehlercharakteristiken und Messungen der Integrität von Packungsformen bereitstellen. Das Gerät umfasst automatisierte Funktionen zur Erkennung und Analyse, mit denen sowohl qualitative als auch quantitative Daten schnell und präzise erfasst werden können. Als passive Technik kombiniert MICROTRAC Nanotrac 150 Weißlichtinterferometrie und konfokale Mikroskopie, um kleine Merkmals- oder Profilhöhen sowohl in Strukturen mit niedrigem als auch hohem Aspektverhältnis zu messen. Merkmale wie Brückenhöhe, Schreiblinien und Stoßhöhen können mit dieser Maschine schnell und genau gemessen werden. Zusätzlich zu den oben genannten Techniken verwendet Nanotrac 150 ein integriertes Mikroskop und eine Rasterstufe, um Waferkarten und andere bildgebende Lösungen bereitzustellen. Mit einer rotierenden Stufe können KE-Breiten oder andere Parameter mit hoher Genauigkeit auf der gesamten Waferoberfläche gemessen werden. Das Werkzeug beinhaltet auch die Möglichkeit, die Atmosphäre innerhalb der Kammer zu kontrollieren, um sicherzustellen, dass die Abbildungs- oder Probenmessungen nicht durch äußere Umgebungseinflüsse beeinflusst werden. MICROTRAC Nanotrac 150 ist zu einem kritischen Werkzeug in der Halbleiter- und Waferindustrie geworden. Durch zuverlässige und wiederholbare Messungen im passiven und dynamischen Modus hat sich Nanotrac 150 als Qualitätsmaßstab etabliert. Seine Fähigkeit, ein „atmosphärisches Fenster“ aus Umgebungsbedingungen bereitzustellen, in denen Analysen und Messungen nicht durch äußere Einflüsse gestört werden, und seine Fähigkeit, detaillierte Messungen von kleinen Merkmalen oder Strukturen mit hohem Seitenverhältnis zu erhalten, sind Attribute, die MICROTRAC Nanotrac 150 zu einem kritischen Werkzeug für Waferanalyse und Messtechnik gemacht haben.
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