Gebraucht MITUTOYO SJ-301 #9287963 zu verkaufen
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MITUTOYO SJ-301 ist eine hochgenaue Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für erweiterte Fehleranalysen, Prozessüberwachung und Geräteentwicklung in Forschung und Entwicklung, Fertigung und Qualitätskontrolle entwickelt wurde. Das System verwendet eine optische Messtechnik, die präzise Messungen der Waferstruktur mit einer präzisen Messung des Oberflächenprofils des Wafers kombiniert. Die Einheit besteht aus vier Hauptkomponenten: der optischen Kopfeinheit (in der die optischen Elemente und die Laserquelle für Lichtleiter und Bildgebung untergebracht sind); die Stufe für die Handhabung von Wafern (einschließlich der Probenplattform und der CCD-Kamera zur Überwachung der Position und der Ausrichtung des Substrats); die Metrologiekonsole zur Datenerfassung und -analyse (ausgestattet mit Bildverarbeitungssoftware); und die Präzisionsstufensteuerung. Die optische Kopfeinheit von SJ-301 enthält ein Hochleistungs-Laserdiodenmodul zur Führung des in zwei Arbeits- und Referenzstrahlen aufgeteilten Lichtstrahls. Beide Strahlen werden durch eine Anordnung von Faseroptiken auf die Probenoberfläche abgebildet und die Probe in die Fokusebene einer 4x-Objektivlinse gelegt. Das resultierende Bild wird von der Kamera, dem CCD-Array und dem Objective-Objektiv auf der Metrologiekonsole gesammelt und analysiert, wo es zu einer Profilkarte des gescannten Bereichs verarbeitet wird. Die Messtechnik-Konsole der Maschine besteht aus einem computerbasierten Datenerfassungstool, einer grafischen Benutzeroberfläche und Bildverarbeitungssoftware. Die Software kann verwendet werden, um die durch Maßnahmen wie Signal-Rausch-Verhältnis Verbesserung gesammelten Signale zu verbessern. Die Daten werden dann von der Präzisionsstufensteuerung in eine Datenbank übertragen, die alle zugehörigen Messungen enthält. Der Präzisionsstufen-Controller von MITUTOYO SJ-301 ist ein programmierbarer Präzisions-Scan-Controller, der einen kontinuierlichen Bewegungsbereich für die Probenplattform bereitstellt. Der Controller ermöglicht eine präzise Wafer-Positionierung und ermöglicht es dem Benutzer, die Position der Probe relativ zur optischen Kopfeinheit einzustellen, um die genauen Messungen aus dem Asset zu berücksichtigen. SJ-301 bietet präzise Messungen der Wafer-Oberflächentopographie für erweiterte Fehleranalysen und Geräteherstellungsprozesse. Das Modell ist mit einer hochgenauen Bildgebungs- und Analyseeinheit, einem Präzisionsstufen-Controller und einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, die es einfach und einfach zu bedienen macht. Mit seinen vielseitigen Fähigkeiten ist dieses Gerät ein leistungsstarkes Werkzeug für Halbleiter- und Wafer-Messtechnik-Anwendungen.
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