Gebraucht MITUTOYO SV-C500 #162851 zu verkaufen

MITUTOYO SV-C500 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung ist eine umfassende Plattform, die eine granulare Kontrolle kritischer Abmessungen und Gleichmäßigkeit über komplexe Geräte hinweg ermöglicht. Die Plattform bietet die prozessinterne Optimierung kritischer Parameter für die erfolgreiche Produktion fortschrittlicher Technologieknoten wie 3D-NAND, DRAM und FINFET-Geräte. Das System bietet eine Vielzahl von Funktionen, die einen hohen Durchsatz und eine flexible Prozesssteuerung ermöglichen, um den Anforderungen moderner Geräteproduktion gerecht zu werden. SV-C500 nutzt eine Hochgeschwindigkeits-Linearantriebsstufe gekoppelt mit einer Hochleistungs-5-Achs-Waferstufe. Dieser fortschrittliche Mechanismus ermöglicht eine präzise Steuerung der Waferbewegung mit Genauigkeiten von 4,5 µm für X/Y-Richtungen und 4,4 µm für Z-Richtung. Die offene Plattformvorrichtung ermöglicht auch einen optimierten Workflow, der es ermöglicht, mehrere Überwachungs- und Messverfahren gleichzeitig innerhalb derselben Einheit einzusetzen. Dazu gehören Prozessabstimmung, Messtechnik, analytische Operationen und Qualitätskontrolle. Neben dem fortschrittlichen Handhabungsmechanismus ist MITUTOYO SV-C500 auch mit verschiedenen leistungsstarken Metrologiewerkzeugen ausgestattet. Diese Werkzeuge nutzen die Luftlagerbaugruppe der Maschine, um statische und dynamische Parameter fortgeschrittener Halbleiterbauelemente zu messen. Das Tool bietet eine breite Palette von automatischen und manuellen Sonden, einschließlich sowohl Rasterelektronenmikroskop (SEM) und Atomkraftmikroskopie (AFM) Fähigkeiten. Diese Werkzeuge bieten hochauflösende Bildgebung und Messungen mit Auflösungen von bis zu 0,5 nm für SEM und 1 nm für AFM. SV-C500 ist auch in der Lage, eine Vielzahl von anderen Messungen und Analysen. Seine Algorithmen sind in der Lage, Bildidentifikation, Chipgrößenanalyse und 3D-Messungen durchzuführen. Die große Bibliothek dieser Anlage mit Messtechniken umfasst auch mehrere zerstörungsfreie Techniken, wie Ellipsometrie und Photolumineszenz, um eine hochpräzise Analyse zu ermöglichen. Insgesamt ist MITUTOYO SV-C500 Wafertest- und Metrologiemodell eine leistungsstarke und vielseitige Lösung für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Der umfassende Leistungs- und Werkzeugsatz ermöglicht eine umfassende Überwachung und Messung kritischer Dimensionen und Gleichmäßigkeitsparameter über komplexe Geräte hinweg. Mit seiner Hochgeschwindigkeits-Linearantriebsstufe, der Luftlagerung und einer breiten Palette an messtechnischen Werkzeugen liefert die Ausrüstung hochpräzise Ergebnisse, die für eine erfolgreiche Produktion moderner Technologieknoten unerlässlich sind.