Gebraucht MVI AV-6010 #9148600 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
MVI AV-6010 Wafer Testing and Metrology Equipment bietet eine leistungsstarke Reihe von Technologien, mit denen die Schichtdicke, Ätztiefe und die Flachheit des Wafers umfassend bewertet werden können. Das System bietet automatisiertes, multidirektionales Scannen und metrische Erfassung mit sechs separaten Messtechniken für beispiellose Genauigkeit und Durchsatz. AV-6010 ist mit einer Vielzahl von Automatisierungsoptionen verfügbar, um den Durchsatz zu erweitern und die Wiederholbarkeit zu verbessern. Das Gerät verfügt über eine integrierte Prozesssteuerung mit einem hochpräzisen, 6-Zonen digitalen Sampler zur Probenentnahme. Dies ermöglicht schnelle Scans bei unterschiedlichen Wafer-Vorschubgeschwindigkeiten für einen verbesserten Wirkungsgrad. Der integrierte Bewegungscontroller unterstützt auch mehrere Sondenpositionen und multidirektionales Scannen, wodurch der Bediener die Flexibilität erhält, das am besten zu seinem Prozess passende Scanmuster auszuwählen. MVI AV-6010 bietet modernste optische Profilierung durch eine Kombination aus Bildgebung für sichtbares Licht und optischer Profilometrie. Diese Kombination ermöglicht das on-the-fly Mapping und die Analyse topographischer Merkmale auf der Oberfläche eines Wafers. Mit Hilfe der optischen Profilierung kann das Profil eines ganzen Wafers gemessen werden, oder nur bestimmte Bereiche, um die Dicke und Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung zu bewerten. Die Maschine bietet auch Entbeinungs-/Ätzrückprüfungen an, ein automatisiertes Verfahren, mit dem beurteilt werden kann, wie gut ein Wafer vor anderen Schichten nachfolgender Folien geschützt ist. Dies ist insbesondere bei Prozessen wie Galvanisieren sinnvoll, die mehrere Folienschichten erfordern. AV-6010 verfügt über eine leistungsstarke intelligente Softwareplattform, die alle Parameter für den automatisierten Test- und Analyseprozess steuert. Diese Plattform ermöglicht eine anpassbare Programmierung sowie die Bereitstellung von Trenddaten, mit denen die Ergebnisse eines Tests im Laufe der Zeit abgebildet werden können. Zusammenfassend bietet MVI AV-6010 Wafer Testing and Metrology-Tool eine umfassende Palette von Technologien, die zur genauen und schnellen Auswertung von Filmabscheidung, Ätztiefe, Ebenheit und topographischer Abbildung verwendet werden können. Es ist eine ideale Lösung für Hersteller und Forschungseinrichtungen, die einen schnellen und zuverlässigen Weg benötigen, um die Qualität ihres Wafer-Herstellungsprozesses zu beurteilen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor