Gebraucht NANOMETRICS Atlas II+ #9242231 zu verkaufen
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ID: 9242231
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2016
System, 12"
(3) Load ports
(3) Modules
FFU System
EFEM Drive system
Multi-stage filtration
EFEM Transmission system
Internal robot
Stage slide system
Optical system (SE/SR)
Magnetic suspension shock absorption system
Temperature control system
Data processor
Signal interface
Data interface
Power interface
Ventilation and vacuum tests
Data analysis system
Workstation
Debugging
Wafer transfer system
Loadport
PDU Power distribution system
External power supply
Manipulator and controller
Temperature control system
Internal temperature fluctuation: 0.1°
Power supply: 220 VAC
Vacuum: 650 mm Hg
Compressed air: 100 PSI
2016 vintage.
NANOMETRIE Atlas II + Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein präzises, zuverlässiges und effizientes Werkzeug zur Charakterisierung der elektrischen und physikalischen Eigenschaften von Wafern in der Halbleiterindustrie. Das System bietet eine breite Palette von integrierten Modulen für die Durchführung verschiedener Arten von Analysen, einschließlich physikalischer Messtechnik, elektrischer Tests, logischer und parametrischer Tests, elektrischer Fehleranalysen und physikalischer Messtechnik auf Waferebene. Das Gerät wird um eine mehrachsige, motorisch angetriebene Stufe gebaut, die das Wafer-Handling präzise steuert. Diese Stufe ermöglicht eine präzise Bewegungssteuerung und Positionierung für Wafer-Mapping, Fehlerlokalisierung und Korn-/Oberflächenanalyse. Die Bühne ist auch robust und stabil, so dass die Maschine in einer Vielzahl von Reinraumbedingungen arbeiten. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über zwei separate optische Systeme für eine verbesserte Auflösung und Messgenauigkeit. Die flexiblen Inspektionsmerkmale von Atlas II + umfassen elektrische Testparameter und Messungen wie Temperatur, Spannung, Strom, Ladung, Kapazität, Induktivität und Widerstand. Das Asset bietet zudem leistungsstarke Analysetools zur Interpretation von Messdaten, die den Prozess der physikalischen Messtechnik beschleunigen. Für die hochauflösende Bildgebung kann das Modell eine Vielzahl von optischen Inspektionsmodi verwenden, wie Hellfeld- und Dunkelfeldbildgebung, Phasenkontrastbildgebung und Rasterelektronenmikroskopie. Das Gerät ist kompatibel mit zahlreichen Messtechnik-Wafern und hat die Fähigkeit, seine Parameter nach Bedarf zu ändern, um Änderungen in Material, Verarbeitungsbedingungen oder Wafer-Eigenschaften gerecht zu werden. Darüber hinaus ermöglicht NANOMETRICS Atlas II + dem Anwender die Anpassung der gewünschten Analyse, und alle gesammelten Daten können zur einfachen Abfrage und Analyse in einer Datenbank gespeichert werden. So ist Atlas II + ein leistungsfähiges und effizientes Messsystem, das Anwendern eine breite Palette von Möglichkeiten zur Durchführung von elektrischen, physikalischen und logischen Tests auf Wafern bietet. Seine hohe Genauigkeit, kombiniert mit flexiblen Messungen, intuitiver Bedienung und Datenbankfähigkeit macht es zu einem unverzichtbaren Werkzeug in der Halbleiterindustrie.
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