Gebraucht NANOMETRICS Atlas #9221857 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9221857
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2006
OCD Metrology system, 6"
ATLAS-M Analysis platform
P/N: 1000-01046 Rev B
Single ASYST load port
Tool upgraded
With particle contamination cover in 2016
Parts non-functional:
Polarizer
Torret: 4x - 15x
2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die vor allem für den Einsatz in Halbleiterherstellungs- und Forschungseinrichtungen konzipiert ist. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Parametern und Eigenschaften auf Wafern verschiedener Größen mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu messen. Das Gerät verfügt über einen hochauflösenden CCD-Detektor und kann verschiedene Steigungen, Ätzgruben, Topographie, Kornstruktur und andere Wafer-Merkmale in hochpräzisen Details messen. Der Kern der Maschine ist Atlas Metrology Station. Dabei handelt es sich um ein modulares Werkzeug bestehend aus einem Focal Plane Array Imaging Asset (FPA), einem Paar Spaltprojektorabbildungssystemen, einem Reflexionsscanner, einem Laserinterferometer und einem optischen Profiler. Diese Komponenten ermöglichen es NANOMETRICS Atlas, beispiellose Präzision für Messmerkmale mit einem Durchmesser von bis zu 500 Mikrometern bei extrem feinen Auflösungen von 0,1 Nanometern zu liefern. Das Modell ist in der Lage, simultane Messungen an mehreren Wafern mit seiner einfach zu bedienenden Benutzeroberfläche durchzuführen. Der Anwender kann die Art der Messung an jedem Wafer wählen, mit automatisierten Anforderungen, die die richtige Kombination von Parametern für die Präzisionsmessung auswählen. Atlas kann Daten und Ergebnisse auf seiner sicheren, vernetzten Ausrüstung speichern und sich direkt mit anderen Werkzeugen im Herstellungsprozess verbinden. Zur weiteren Analyse umfasst NANOMETRICS Atlas eine spezialisierte Software zur Erstellung einer Vielzahl von Diagrammen und statistischen Berichten sowie eine integrierte Graphenplotting-Funktion. Es ist auch in der Lage, in andere vernetzte Tools, wie Datenanalysatoren oder statistische Software integrieren, um seinen Nutzen weiter zu erhöhen. Atlas ist ein leistungsfähiges System und wurde entwickelt, um den Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterherstellungs- und Forschungseinrichtungen gerecht zu werden. Die Kombination aus Präzisionsmessfunktionen, Netzwerkkonnektivität und intuitiver Benutzeroberfläche machen es zu einer idealen Einheit für jedes Labor, das eine leistungsstarke Messtechnik benötigt.
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