Gebraucht NANOMETRICS Atlas #9244874 zu verkaufen
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ID: 9244874
Wafergröße: 12"
Weinlese: 1995
OCD Metrology system, 12"
Missing parts
1995 vintage.
NANOMETRICS Atlas ist ein hochmodernes Gerät für Wafertests und Messtechnik. Mit der Skalierung der Gerätegeometrie hat die Notwendigkeit einer stetig steigenden Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen einen Bedarf an automatisierten Wafertest- und Messtechnik-Systemen mit sich gebracht. Atlas ist ein automatisiertes Messsystem, das präzise Messungen elektrischer, elektrischer Parameter auf Wafern ermöglicht. Es umfasst mehrere Hochleistungslaser, Sensoren und Steuerungssysteme sowie eine Datenerfassungseinheit, die gleichzeitig mehrere Ergebnisse liefert. Die Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Parametern auf den Wafern wie Kontaktwiderstände, Höhenprofile, Ätztiefe, Geräteentwicklung usw. zu messen. Das Werkzeug verwendet ein Laser-Vibrometer, das auf Interferometer-Technologie basiert, um das Höhenprofil der Wafer zu messen. Der Laser wird verwendet, um das Oberflächenprofil des Wafers zu erfassen und die Daten in Echtzeit zu erfassen und zu analysieren.Das Gut ist auch in der Lage, eine Vielzahl von sekundären messtechnischen Operationen wie resistive Isolation und Kontaktwiderstände durchzuführen. Das Modell beinhaltet auch eine automatisierte Fehlererkennung, die verschiedene Arten von Fehlern wie Unterbrechungen, Kurzschlüsse und Totschlüsse identifizieren und klassifizieren kann. Das Gerät ist außerdem mit einer verbesserten Fehlermarkierungssoftware ausgestattet, die fehleranfällige Bereiche auf dem Wafer markieren und identifizieren kann, um die Korrekturmaßnahmen zu ihrer Behebung zu unterstützen. Neben den automatisierten Funktionen bietet NANOMETRICS Atlas auch die Möglichkeit, Messgrößen manuell anzupassen, um Messergebnisse zu optimieren. Das System ermöglicht die manuelle Einstellung einer Reihe von Parametern wie Spotgröße, Laserleistung und Belichtungsdauer sowie erweiterte Datenanalyse- und Steuerungsfunktionen wie Kurvenanpassung, statistische Prozesssteuerung (SPC) und mehr. Insgesamt ist Atlas eine leistungsstarke und umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die für schnelle und genaue Messungen entwickelt wurde, um die Produktion von Qualitätswafern sicherzustellen. Mit ihren automatisierten und manuellen Funktionen ist die Maschine ein unverzichtbares Werkzeug für jeden modernen Wafer-Herstellungsprozess.
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