Gebraucht NANOMETRICS Atlas #9256431 zu verkaufen

ID: 9256431
Weinlese: 2004
OCD Metrology system 2004 vintage.
NANOMETRICS Atlas ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät der Halbleiterindustrie, das die Prüfung und Inspektion von Strukturen sowohl mit Sub-220nm als auch mit bis zu 28 µm Eigenschaften ermöglicht. Das System wurde entwickelt, um on-the-fly die Neucharakterisierung von Chips durchzuführen, präzise Daten über die Geräte- und Prozessleistung bereitzustellen und ein Verständnis der zugrunde liegenden physikalischen Phänomene während des Prozesses zu vermitteln. Atlas kombiniert elektrische Test-, Messtechnik- und Bildgebungsfunktionen zu einer einzigen Plattform in einem automatisierten, optimierten Paket. Seine hohe Leistung und Zuverlässigkeit macht NANOMETRICS Atlas zur perfekten Wahl für leistungskritische Wafertest- und messtechnische Anwendungen. Atlas kann eine Reihe von Tests an Wafer-Proben durchführen, von zerstörungsfreien elektrischen Bogenwiderstandsmessungen über parametrische Wafer-Level-Tests bis hin zu Gate-Delay-Messungen und automatisiertem Ionenstrahl-Fräsen. Das integrierte optische Mikroskop und die CCD-Kameraeinheit (Charge-Coupled Device) ermöglichen eine hochauflösende Bildgebung und Mikrographen von Strukturen bis zu 22 Nanometern, während die hochpräzise Waferstufe eine wiederholbare und genaue Leistungsprüfung ermöglicht. Das integrierte Rasterelektronenmikroskop (SEM) ermöglicht Oberflächenbildgebung, Dickenmessungen und Messungen kritischer Abmessungen (CD) sowie Topographie und Rauheitsmessungen. Das SEM kann in Kombination mit dem optischen Mikroskop für die nebeneinander liegende Bildgebung und Registrierung verwendet werden, was eine komplexe Charakterisierung von Merkmalen und Strukturen ermöglicht. Die ausgeklügelte, automatisierte Steuerungssoftware von NANOMETRICS Atlas ermöglicht eine genaue Druckkontrolle und Optimierung von Parametern während des Test- und Messtechnikprozesses, während eine robuste Datenerfassung eine präzise Messung von Geräte- und elektrischen Parametern ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Maschine über industrietaugliche Technologiestandards, die perfekt für die Integration in Reinraumumgebungen geeignet sind. Zusammenfassend ist Atlas ein unschätzbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie, das präzise und robuste Daten für eine Reihe von Wafertest- und messtechnischen Anwendungen liefern soll. Seine hohe Präzision und beispiellose Leistungsfähigkeit stellen sicher, dass es ein zuverlässiges Go-to-Tool für Wafer-Tests und Prozessoptimierung bleibt.
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