Gebraucht NANOMETRICS Atlas #9271275 zu verkaufen
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ID: 9271275
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
OCD Metrology system, 12"
PN: 7000-025865
Process: Metro
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2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten, sodass Benutzer Funktionen auf extrem enge Toleranzen messen und steuern können. Atlas ist ein berührungsloses Vollfeldabtastsystem, das die Messung kritischer Abmessungen auf Halbleiterscheiben sowie anderer Weitflächenmerkmale wie Filmdicke und -widerstand ermöglicht. NANOMETRIE Atlas nutzt eine Vielzahl von Messtechnologien, einschließlich Weißlicht-Interferometrie (WLI) und Video-Apertur-Mikroskopie (VAM). WLI bietet die Abbildung eines breiten Sichtfelds und einer vertikalen Auflösung des Sub-Nanometers, während VAM eine überlegene laterale und vertikale Auflösung für die Auflösung kleiner Funktionen wie Transistoren und Bondpads aufweist. Kombiniert ermöglichen diese Technologien Atlas, Messungen auch von komplexesten Oberflächen schnell zu erfassen. NANOMETRICS Atlas bietet auch eine einzigartige Kombination aus berührungsloser und ultrahochauflösender Messtechnik mit der Fähigkeit, Merkmale bis zu 1 μ m an selbst anspruchsvollsten Strukturen zu messen. Durch die Unterstützung verschiedener Messkonfigurationen kann das Gerät sowohl zur Messung flacher als auch stark gekrümmter Flächen wie 3D-Konturen und Oberflächenrauhigkeiten verwendet werden. Darüber hinaus bietet Atlas 8-Zoll-oder 12-Zoll-Wafer-Inspektionsfunktionen neben seinen Standard-10-Zoll-Wafer unterstützt Messungen. Zusammen mit seinen fortschrittlichen Messfähigkeiten verfügt NANOMETRICS Atlas auch über eine robuste Reihe von Technologien, um Testqualität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Beispielsweise spart seine automatisierte Ausrichtungstechnologie Zeit, indem Wafer vor dem Testen automatisch ausgerichtet werden. Es verfügt auch über eine eingebaute Vision-Maschine für eine schnelle Vorausrichtung und ein vollautomatisches Musterregistrierungstool für Dual-Side-Messungen. Atlas ist eine ideale Wahl für Präzisionsanwendungen mit seiner kompakten Bauweise und hoher Genauigkeit, die es sowohl für Labor- als auch Produktionsumgebungen geeignet macht. Durch zuverlässige, konsistente Messungen unter unterschiedlichsten Bedingungen hilft NANOMETRICS Atlas Anwendern bei der Einhaltung höchster Qualitätssicherungsstandards.
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