Gebraucht NANOMETRICS LYNX #9203178 zu verkaufen

ID: 9203178
Weinlese: 2010
Critical dimension measurement system EFEM With (2) NANOMETRICS Metro Missing parts: Lamp housing Relay lens Nano OCD Loading configuration: (4) Load ports Power rating: 200 VAC~240 VAC, 1 Phase 2010 vintage.
NANOMETRICS LYNX ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Halbleiterindustrie. Es verfügt über eine einfach zu bedienende Schnittstelle und akzeptiert bis zu 25-Zoll-Substratdurchmesser. Das System ist mit einer Vielzahl von Funktionen wie hoher Flächenabdeckung, fortschrittlicher Inspektion und Analyse, schneller Bildverarbeitung und Eigenschaftenanalyse ausgestattet. Es nutzt modernste Kameratechnologie und ermöglicht sowohl Vollproben- als auch Teilprobenmessungen, um unterschiedlichen Prüfanforderungen gerecht zu werden. Das Gerät verwendet fortschrittliche algorithmische Techniken, um kleine Bereiche des Wafers mit einer hohen Genauigkeit zu messen. Es unterstützt den Einsatz fortschrittlicher Fehlerreduktionstechniken wie Musteranpassung und Flächenmittelung. Bilddaten werden mit einem Algorithmus erfasst und analysiert, der Art, Menge und Ort von Fehlern bestimmt. Auf diese Weise können Ingenieure fundierte Entscheidungen in Wafer-Ertragsoptimierungsprozessen treffen. Neben der Waferinspektion und Messtechnik kann die Maschine auch die Größe und Dicke dünner Filme messen. Es verwendet Vier-Kanal-Spektroskopie-Detektoren sowie einen quad polarisierten Polarisator, um dünne Filme zu analysieren. Auf diese Weise können Anwender das Vorhandensein von Verformungen im Film erkennen und präzise Messungen der Foliendicke durchführen. Das Werkzeug kann mit einer Vielzahl von Peripheriegeräten integriert werden, um seine Fähigkeiten auf die Materialcharakterisierung auszudehnen. Es kann mit einem Röntgenbeugungs-/XRD oder Röntgenphotoelektron/XPS-Asset für die Oberflächen- und/oder oberflächennahe Materialanalyse gekoppelt werden. Es kann auch mit einem Optischen / Abtastung oder Übertragungselektron microscope/TEM Modell für weitere eingehende Analysen der materiellen Proben verbunden werden. Last but not least wird die Ausrüstung mit modularen Bausteinen entworfen, um einfache Upgrades und Anpassung des Systems je nach Kundenwunsch zu ermöglichen. Dadurch ist die Einheit hochskalierbar und kann leicht an verschiedene Produkte und Prozesse angepasst werden. Schließlich ist LYNX eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die eine schnelle, genaue und zuverlässige Prüfung von Halbleitersubstraten ermöglicht. Es nutzt fortschrittliche Bildverarbeitungs-, Analyse- und Messtechniken und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen. Das Tool ist sehr anpassbar und kann auf die Bedürfnisse des Benutzers zugeschnitten werden.
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