Gebraucht NANOMETRICS LYNX #9203706 zu verkaufen
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ID: 9203706
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Critical dimension measurement system, 12"
Missing parts: PAS Server
Loading configuration: (4) Load ports
Power rating: 200 VAC~240 VAC, Single phase
2013 vintage.
NANOMETRICS LYNX ist eine neuartige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine fortschrittliche Prozesssteuerung in der Halbleiterbauelement-Fertigungsindustrie ermöglicht. Dieses System nutzt eine integrierte Lösung der optischen Messtechnik, Kontaktabtastung und elektrischen Messung, um eine hochgenaue Bewertung der Wafereigenschaften zu ermöglichen. LYNX unterstützt Wafer-Tests, Prozessüberwachung und Messtechnik auf kostengünstige Weise mit dem Ziel, höhere Prozesserträge und eine verbesserte Geräteleistung zu erzielen. Das Design von NANOMETRICS LYNX nutzt eine integrierte Messtechnik-Plattform mit einer Reihe von Werkzeugen, um eine optimierte Lösung für optische Messtechnik, Kontaktabtastung und elektrische Messungen anzubieten. Diese Einheit misst eine breite Palette von Geräteparametern, wie Gerätehöhe, Oberflächenrauhigkeit, Überlagerungsgenauigkeit und elektrische Leistung. Durch die Kombination von optischer und elektrischer Inspektion kann LYNX die Leistung der selektiven Schichten von Dünnschichtmessungen messen. Es kann auch die kritischen Grenzflächenschichten, unmittelbare seitliche Merkmale und gemessene elektrische Eigenschaften beurteilen. Darüber hinaus verfügt NANOMETRICS LYNX über fortschrittliche Bildverarbeitungssoftware zur automatisierten Abbildung und Analyse kritischer Komponenten. Diese Software wird verwendet, um die seitlichen Merkmale des Geräts zu analysieren, die Form und Größe zu quantifizieren und Fehler wie Kratzer, Gruben und Artefakte zu erkennen. Darüber hinaus führen die Kontaktabtastfunktionen (CD-SEM und AFM) Komponentenausrichtung, Overlay-Messungen und Rückseitenanalysen zur Ausbeute-Verbesserung durch. Die Maschine bietet Visualisierung über mehrere Ebenen in 3D-Bildern, um bei der Erkennung von Fehlern zu helfen. LYNX läuft auf den neuesten Hardware- und Softwareplattformen, um die Wartung zu vereinfachen und die Leistung zu verbessern. Dieses Werkzeug ist auf die hohen Anforderungen der Serienproduktion ausgelegt und kann in andere Prozesswerkzeuge integriert werden. Darüber hinaus kann das Asset auf die spezifischen Anforderungen einer bestimmten Anwendung zugeschnitten werden, mit einer Vielzahl von Anpassungsmöglichkeiten. Abschließend bietet NANOMETRICS LYNX eine leistungsstarke, integrierte Lösung für Wafertests und Messtechnik, die präzise, zuverlässige und kostengünstige Ergebnisse liefert. Mit seinen ausgeklügelten bildgebenden Funktionen kann LYNX vielfältige Anforderungen an Prozesssteuerung und Ertragsverbesserung erfüllen.
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