Gebraucht NIKON AM-601D #293645645 zu verkaufen

ID: 293645645
Reticle inspection system.
NIKON AM-601D ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die vor allem zur Messung der nanometrischen Oberflächentopographieeigenschaften von Materialien entwickelt wurde. Es besteht aus einem mehrachsigen integrierten Positioniersystem, einer Objektivbaugruppe mit Optik, einem Detektor und der notwendigen Elektronik zur Detektion des Signals vom Detektor. Diese Einheit ist in der Lage, mit hochauflösender 3D-Karte Bilder der Oberfläche in den x-, y- und z-Achsen zu erfassen. Die mehrachsige Positioniermaschine ist mit hochpräzisionsförmigen Luftlagern ausgestattet, die auf einer invertierten Y-Doppelstufen-Grundkonstruktion montiert sind. Für eine hohe Genauigkeit wird ein Luftlager mit maximaler Kollimation verwendet, um mögliche Fehler zu reduzieren. Dieses Positionierwerkzeug kann für einen größeren Bewegungsbereich mit einem Werkstücktracjet oder Gantry gekoppelt sein. Die objektive Montage ist so aufgebaut, dass eine möglichst hohe Auflösung gewährleistet ist. Dies wird durch den Einsatz einer NIKON-proprietären High Numerical Aperture Objektivlinse erreicht, die mit einem magnetisch abgeschirmten optischen Arm integriert ist. Dadurch wird eine stabile optische Plattform mit hoher Genauigkeit unter Beibehaltung eines sauberen und nicht dispersiven optischen Weges gewährleistet. Der Detektor ist ein robuster, zerstörungsfreier CCD-Detektor. Der CCD-Detektor ist in einer thermisch und schwingungsabwärts gerichteten Umgebung montiert, die der bildgebenden Oberfläche Stabilität verleiht. Der CCD-Detektor ist in unmittelbarer Nähe des Objektivs montiert und gewährleistet ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis. NIKON AM 601D asset ist ein hochentwickeltes Wafer-Test- und Metrologiemodell. Es wurde entwickelt, um höchste Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten und eignet sich ideal für eine breite Palette von nanometrischen Oberflächentopographie-Messanwendungen. Das Gerät ist in der Lage, hochauflösende Oberflächenbilder bis zu 2 μ m mit Subnanometer-Wiederholbarkeit zu erzeugen. Es bietet eine Scangeschwindigkeit von bis zu 80 μ m/sec, mit schnellen Messungen und kurzen Scanzeiten. Das System ist für eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Halbleiter, Gläser und Kunststoffe konzipiert. AM-601D ist eine ideale Wahl für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen im Bereich der optischen Messtechnik.
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