Gebraucht NIKON AM-601D #9224306 zu verkaufen

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ID: 9224306
Reticle inspection system.
NIKON AM-601D ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die genaue und wiederholbare Messungen von flachen und gemusterten Wafern mit minimalem Eingriff des Bedieners ermöglicht. Das System ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll zu messen und verwendet ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), um hochauflösende Bilder der Waferoberfläche zu liefern. Die integrierte Messeinheit besteht aus mehreren Modulen, darunter ein Stufen- und Bühnenbewegungsmodul, ein Inspektionssoftwaremodul, ein Probenhaltererkennungsmodul, ein Analyse-Softwaremodul und ein Web-Interface-Modul. Das Bühnen- und Bühnenbewegungsmodul steuert die Bewegung des Wafers zur präzisen Positionierung und Abtastung. Das Inspektionssoftware-Modul nimmt dann Messungen der Waferoberfläche und der Datenmanipulation mit optionalen Editierfunktionen vor. Das Probenhalter-Detektionsmodul ermöglicht die automatisierte Probenbeladung und Detektion von Proben. Das Analyse-Softwaremodul zeigt die Bilder und 3D-Baumkarten an und liefert Einblicke in die Waferebene wie Fehlerlage, Rauheit, Topographie und Schichtdicke. Das Web-Interface-Modul bietet auch eine intuitive Bedienoberfläche für die Verwaltung der Maschine. NIKON AM 601D bietet eine komplette Palette von Wafer-Prüf- und Messtechnik-Funktionen, einschließlich Präzisionsdruckwandler, Laser-Interferometer, manuelle Probenhalter und andere Komponenten zur Prüfung der Flachheit und Oberflächenrauhigkeit von Wafern. Darüber hinaus bietet das Tool Rückverfolgbarkeit und Anpassungsfunktionen für die Durchführung einer Vielzahl anwendungsspezifischer Tests. Weitere Merkmale der Anlage sind Multitasking-Fähigkeit, flexible Automatisierung und präzise Ausrichtungsgenauigkeit. Insgesamt ist AM-601D ein zuverlässiges, hochauflösendes Wafer-Test- und Metrologiemodell, das sich für eine Reihe von Wafertest- und Messaufgaben eignet. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und Werkzeugen, mit denen Benutzer flache und gemusterte Wafer für eine Vielzahl von Anwendungen schnell und genau messen können.
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