Gebraucht NOVA NovaScan 3090 FI SB #9276192 zu verkaufen

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ID: 9276192
Film measurement system P/N: 390-00000-10 With EBARA CMP Integration metrology critical dimension EBARA REX300 CMP Tool Voltage: 115 V, 230 VAC.
NOVA NovaScan 3090 FI SB ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für den Einsatz in einer Vielzahl von industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen. Das System nutzt fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, um eine präzise Messung der elektrischen und physikalischen Eigenschaften auf einem Halbleiterwafer zu ermöglichen. Mit seinen hochauflösenden, schnelllaufenden Bildaufbereitungsfähigkeiten ist die Einheit dazu fähig, eine Vielfalt von Parametern für die Oberflächenrauheit zu messen, ätzen Sie Rate, Gleichförmigkeit, Polarisation und Isolierung. NovaScan 3090 FI SB ermöglicht eine verbesserte Analyse von Halbleiterscheiben, einschließlich der Fähigkeit, defekte Bereiche zu identifizieren und zu isolieren. Es ist in der Lage, die Oberflächenanalyse mit seiner hochauflösenden Hochgeschwindigkeits-Bildgebungsmaschine durchzuführen, mit der ein Bereich von elektrischen, Oberflächen- und Struktureigenschaften gemessen werden kann. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Vielzahl von Merkmalen ausgestattet, die bei der Charakterisierung helfen, einschließlich der Fähigkeit, Materialfehler und Bereiche, die zusätzliche Untersuchung erfordern, automatisch zu erkennen. Das Asset umfasst eine Vielzahl von Software-Support, um eine nahtlose Integration zwischen dem Modell und seinem Benutzer zu ermöglichen. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine einfache Navigation der Ausstattung und ermöglicht es den Betreibern, interessante Bereiche schnell zu erkennen. Die Software umfasst auch eine Vielzahl von Analyse-Tools, wie optische kritische Dimension (OCD) Analyse, CD-SEM (critical dimension scanning electron microscopy) Profil, und automatische sekundäre Elektronen-CD-SEM-Profil. Das System wird mit einer Reihe von fortgeschrittenen Technologien, einschließlich einer automatisierten Datenerfassungseinheit und einer Hochleistungsbildaufbereitungsmaschine gebaut. Dies ermöglicht eine genaue Messung und Analyse verschiedener Parameter. Eine Vielzahl von Bilderfassungsoptionen ermöglicht es dem Tool, Bilder von bis zu 10.000 Pixel in Auflösung zu erfassen, die detaillierte Informationen über die Waferoberfläche liefern können. Die Anlage umfasst auch ein Ionenstrahlmodell, um genaue Messungen der Dotierstoffkonzentrationen bereitzustellen, während eine Roboterplattform eine automatisierte Probenbeladung und -messung ermöglicht. Insgesamt ist NOVA NovaScan 3090 FI SB eine leistungsstarke und vielseitige Wafer-Prüf- und Messtechnik für eine Vielzahl von industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen. Seine erweiterten Bildgebungsfunktionen, sein automatisiertes Datenerfassungssystem und seine umfangreiche Softwareunterstützung machen es zu einem wertvollen Werkzeug zur Identifizierung defekter Bereiche und zur Messung von elektrischen, Oberflächen- und Struktureigenschaften.
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