Gebraucht NOVA NovaScan 3090 Next SA #9195941 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9195941
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
Critical dimension measurement system, 12"
Includes:
(3) Load ports
Interpretation computer (Mini IPC) kit
2012 vintage.
NOVA NovaScan 3090 Next SA ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine Produktionsgenauigkeit zu einem Bruchteil der Kosten herkömmlicher Systeme bietet. Es verfügt über eine voll integrierte Software-/Hardwarearchitektur und einen digitalen Bildprozessor zum schnellen Scannen von dielektrischen und organischen Filmen. Das System ist mit einer fortschrittlichen 3-stufigen optischen Einheit ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit einer breiten Palette von Wafermaterialien ermöglicht. NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA ist eine vielseitige Maschine, die für Anwendungen in der optischen Inspektion, Metall-Oxid-Halbleiter (MOS) Transistor und anderen Leistungskomponenten-Tests, Lithographie-Musterung, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) und andere damit zusammenhängende Wafer Metrologie-Aufgaben logie eingesetzt werden kann. Es funktioniert mit einem digitalen Autofokus-Tool, einem 8-Zoll-Bildspiegel und einem Laserbeleuchter mit variabler Wellenlänge für optimale Genauigkeit und Präzision. Der Laserbeleuchter ist einstellbar, um entweder Reflexion oder Durchleuchtung optisch mit minimalem Bildrauschen zu ermöglichen. NovaScan 3090 Next SA verfügt über eine modulare Konstruktion, die an eine Vielzahl von messtechnischen Anwendungen wie Werkzeugprüfungen und Foliendickenmessungen angepasst werden kann. Es kommt mit einer einzigen Objektivspeicherkammer, einem 60x Mikroskop mit motorisiertem Fokus, einer 35mm digitalen Bildaufnahmekamera und einem Spektralreflektometer. Das Asset kann um zusätzliches Zubehör wie ein CCD-Bildgebungsmodell, ein Spektrometer, ein computerisiertes polarisiertes Mikroskop und ein optionales multispektrales Bildgebungsgerät erweitert werden. NOVASCAN 3090 NEXTSA hat auch die Fähigkeit, Ungleichmäßigkeiten, Defekte und andere Materialunregelmäßigkeiten mit seiner hohen Empfindlichkeit für Oberflächenungleichförmigkeiten über mehrere Betriebsmodi zu erkennen, einschließlich transmissiver, 1-D-reflektometrischer Inspektion (RI) und berührungsloser Oberfläche (2-D -) Inspektion. Es ist kompatibel mit einer breiten Palette von Substraten, einschließlich Si, Quarz, Polysilizium, Saphir, Silizium, Glas und Keramik. Das System ist auch mit integrierten Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer automatischen Abschaltung im Falle eines Stromausfalls, und mit einer selbstkalibrierenden Einheit, die es dem Bediener ermöglicht, die Maschine für eine optimale Leistung zu kalibrieren. NOVA NovaScan 3090 Next SA bietet ein vollautomatisches Werkzeug mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, das schnellere Test- und Messergebnisse ermöglicht. Ein integriertes Pick-and-Place-Asset vereinfacht Prozesse, während ein vollständig integriertes Computersteuerungsmodell eine einfache Datenanalyse ohne zusätzliche Hardware oder Software ermöglicht. Das Gerät wird von einem 6,8-Ampere-Schrittmotor angetrieben und liefert überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit einer breiten Palette von Materialien und Substraten.
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