Gebraucht NOVA NovaScan 3090 #293823988 zu verkaufen
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NOVA NovaScan 3090 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung der NOVA Technology Corporation. Das System wurde entwickelt, um präzise und genaue Messungen bei der Prüfung von MEMS und photonischen Wafern anzubieten. Es verwendet ein selbstjustierendes optisches interferometrisches Profilometer, das eine hohe Auflösung von bis zu 0,1 nm bietet. NovaScan 3090 verfügt über eine große automatisierte Waferstufe mit zwei schraubenartigen Testladern, wodurch es in der Lage ist, sowohl uni-polare als auch multipolare Konfigurationen für eine Vielzahl von Testwafergrößen zu handhaben. Das Gerät kann Waferdicken von 200 µm bis 5 mm bei einem maximalen Waferdurchmesser von 300 mm aufnehmen. Die Stufe hat eine 360-Grad-Drehung, die eine genaue Messung der Prüfmuster aus jedem Winkel ermöglicht. NOVA NovaScan 3090 verfügt auch über eine eingebaute RGB-Laserinterferometrie-Maschine, die die Präzision der Laserinterferometrie mit der Treue der CCD-Bildgebung kombiniert. Dies ermöglicht die Erfassung von genauen Bildern aus verschiedenen Blickwinkeln in einer Vielzahl von Materialien. Das Werkzeug kann Subnanometer-Abweichungen in Schritthöhen sowie Oberflächentexturen, Topographien und Mikromerkmale erfassen. Darüber hinaus verfügt NovaScan 3090 über ein integriertes digitales Mikroskop, das spezielle Bilder von präzisen Bereichen und Merkmalen des Wafers erfasst. Diese Funktion ermöglicht genaue Messungen der Abstände auf dem Wafer sowie nanoskalige Funktionen in 3D. Das Mikroskop ist auch mit fortschrittlicher Software zum Schärfen und Nähen von Bildern ausgestattet, um die beste Auflösung, Details und Genauigkeit zu erhalten. NOVA NovaScan 3090 enthält auch mehrere Softwarefunktionen, die einen automatisierten Betrieb und eine verbesserte Nutzung ermöglichen. Die Anlage ist mit Live-Mikroskopie ausgestattet, die eine Echtzeit-Analyse und Entscheidungsfindung mit schnellem Feedback ermöglicht, während die dynamische visuelle Inspektion eine schnelle, genaue und automatisierte Bestätigung hochauflösender Bilder ermöglicht. Die Software kann auch automatisch alle Anomalien im Materialwafer erkennen und melden, was es zu einem kostengünstigen und zuverlässigen Metrologiemodell macht.
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