Gebraucht NOVA V2600 #9397357 zu verkaufen

NOVA V2600 ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für fortschrittliche Halbleiterfertigungs- und Fertigungs-Verteilungsleitungen. Es ist in der Lage, alle Arten von Test- und Messtechnik-Aufgaben wie Scannen elektrische Test, optische Test, Defekt-Maskierung und Inspektion, die Scherung und Paket Pull-Tests, und optische und Partikel-Charakterisierung. Das System besteht aus zwei Modulen - der Optical and Electrical Test Station (OETS) und der Metrology Station (MS). Das OETS besteht aus einer modularen optischen und elektrischen Prüfstation, die mit einem automatisierten Roboterarm Wafer-Testoperationen durchführt. Das Gerät unterstützt sowohl 2D- als auch 3D-Messtechnik und elektrische Messungen und kann verwendet werden, um Parameter wie Dotierstoffkonzentration, Defekt- und Verunreinigungsdichte, Geräteausbeute und andere kritische prozessbezogene Parameter schnell und genau zu messen. Die Metrologie-Station beherbergt eine Reihe von messtechnischen und bildgebenden Instrumenten wie Rasterelektronenmikroskope (SEMs), Atomkraftmikroskope (AFMs) und konfokale Lasermikroskope (CLMs). Es enthält auch eine Vielfalt von spektroskopischen Instrumenten einschließlich Fouriers gestalten Infrarotspektrometer (FTIRs) um, durchleuchten Photoelektronspektrometer (XPSs) und Spektrometer von Raman. Diese Instrumente werden verwendet, um Messtechnik- und Bildgebungsparameter auf Waferebene zu messen, einschließlich Ätztiefe, Dichte, Topographie, Grenzflächenwinkel, Oberflächenrauhigkeit und anderen kritischen Prozessvariablen. V2600 umfasst eine Reihe von automatischen Funktionen, wie automatisierte Datenerfassung und -analyse, so dass Benutzer Daten schnell und genau analysieren können. Die Maschine ist in der Lage, mit anderen Software wie Statistical Process Control (SPC) Pakete und andere Computer-aided Design and Manufacturing (CAD/CAM) Software zu integrieren. Durch seine erweiterten Datenanalyse- und Berichtsfunktionen bietet es erweiterte Entscheidungsunterstützung für Prozessverbesserung und -optimierung. Im Hinblick auf die Sicherheit ist das Werkzeug auf die Sicherheitsstandards der Halbleiterindustrie ausgelegt, mit mehreren Schichten der Sicherheitserkennung einschließlich zusätzlicher Verriegelungen und einer verifizierten eingebauten Sicherheitsfunktion. Diese Merkmale stellen sicher, dass der Vermögenswert nicht in Anwesenheit einer gefährlichen Umgebung aktiviert wird und in einer Produktionsumgebung sicher betrieben werden kann. Insgesamt ist NOVA V2600 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Prüf- und Messtechnikmodell für Wafer, das eine umfassende Lösung für die fortschrittliche Halbleiterherstellung bietet. Seine fortschrittlichen Systeme und Funktionen ermöglichen es Benutzern, Daten schnell und genau zu analysieren, Fehler zu identifizieren, Prozesse zu optimieren und die Qualität zu verbessern. Darüber hinaus sorgen seine Sicherheitsmerkmale dafür, dass es sicher und effizient eingesetzt werden kann.