Gebraucht NOVASCAN 420 #117521 zu verkaufen
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NOVASCAN 420 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hochpräzise Messung, Analyse und Echtzeit-Prozessleistung entwickelt wurde. Es ist das leistungsstärkste Werkzeug zur Messung und Pflege kritischer Prozessparameter. Ausgestattet mit einer Vielzahl von Testmethoden ermöglicht 420 die genaue und rechtzeitige Erkennung von parametrischen Defekten und anderen Unregelmäßigkeiten für eine sichergestellte Prozessoptimierung. Das System besteht aus einer Hochleistungslaserscan-Plattform, einer CCD-Kamera, einer hochauflösenden optischen Bildaufbereitungseinheit, einer Reihe von eingebetteten Filtern und verschiedenen Testalgorithmen. Die Laserscanplattform verfügt über einen hochpräzisen Vektorantrieb, mit dem die Maschine die ultradünnen Profile und Kurven jedes Wafers genau messen kann. Die CCD-Kamera erfasst Echtzeitbilder jedes Wafers und bietet Vollwinkelsichtbarkeit, ohne dass die Kamera neu positioniert werden muss. Das optische Bildgebungswerkzeug bietet präzise 3D-Messungen mit Nanometergenauigkeit und ermöglicht eine präzise Analyse selbst kleinster Oberflächenmerkmale. Die eingebetteten Filter bieten mehrere Lichtwellenlängen, wodurch verschiedene Materialien mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften analysiert werden können. Die Testalgorithmen von NOVASCAN 420 wurden entwickelt, um jede messbare Diskrepanz in den Nenneigenschaften des Wafers zu erkennen. Die Algorithmen vergleichen die tatsächlichen Messungen mit einer vorbestimmten Menge von Werten und liefern Echtzeit-Feedback zur Prozessleistung. Auch erweiterte Lösungen wie die Überwachung mehrerer Geräteparameter und eine umfassende Mustererkennung sind möglich. Das Asset lässt sich auch problemlos in bestehende Automatisierungsplattformen integrieren, um die Integration zu erleichtern. Insgesamt ist 420 ein leistungsstarkes Wafer-Test- und Metrologiemodell mit einem präzisen Laserscannen, einer Full-Winkel-CCD-Kamera, einer hochauflösenden bildgebenden Ausrüstung und verschiedenen Testalgorithmen, wodurch Anwender ein präzises Werkzeug zur Prozessoptimierung erhalten.
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