Gebraucht ORC MEM-5926 #9017907 zu verkaufen
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ID: 9017907
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1995
Bump height measurement system, 6"-8"
1995 vintage.
ORC MEM-5926 ist eine getestete und messtechnische Ausrüstung, die für die Verwendung von Mehrstrahllaserscanning zur Präzisionsmessung von Dünnschichtgeräten entwickelt wurde. Dieses System kann mit mehreren komplexen Metall- und dielektrischen Materialien arbeiten, einschließlich Dünnschicht-Mehrschicht-optischen Beschichtungen. Die Einheit basiert auf einer Doppelstrahl-Interferometrie-Technik, die genaue und wiederholbare Messungen von Dünnschicht-optischen Geräten wie Beugungsgittern, Dünnschicht-Reflektoren, Strahlteilern, Polarisatoren und Antireflexbeschichtungen ermöglicht. Die Maschine besteht aus einer Lichtquelle, einer Abtasteinheit und einer Elektroniksteuerung. Die Lichtquelle ist ein Diodenlaser mit zwei Wellenlängen, der hochgenaue und wiederholbare Messungen für Dünnschichtgeräte liefert. Die Abtasteinheit enthält zwei Spiegelsätze und eine rotierende Scheibe. Diese Scheibe dient zum Scannen und Messen des Dünnschichtgerätes mit zwei getrennten Laserstrahlen. Die Reflexionen jedes Lasers werden dann von einer CCD-Kamera aufgezeichnet und mit einem softwarebasierten Bildverarbeitungsalgorithmus analysiert. Der Controller bietet eine genaue und zuverlässige Steuerung der Laserquelle und des Spiegel-/Plattenscans. Es kann in mehreren Modi mit unterschiedlichen Empfindlichkeitsstufen arbeiten und sowohl in zwei- als auch dreidimensionalen Scanregimes arbeiten. Die Steuerung kann mit ihrem integrierten Bildaufnahmeprogramm auch Bilder der Dünnschichtgeräte erfassen. Das Werkzeug ist in der Lage, Dünnschichtoptikkomponenten mit einer Genauigkeit von ± 0,05 nm zu messen. Es bietet auch einen weiten Bereich der Betriebstemperatur, von 0 ° C bis 55 ° C und kann physikalischen Schocks von bis zu 200 g pro Beschleunigung standhalten. Diese Funktionen machen MEM-5926 zu einer vielseitigen, leistungsstarken und kostengünstigen Option für eine Vielzahl von Dünnschichtgerätetests und messtechnischen Anwendungen.
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