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PHOTON BeamPro
ID: 9059520
M2 System.
PHOTON BeamPro ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die kostengünstige und zuverlässige Lösungen für eine Vielzahl von Mess- und Testanwendungen für Halbleiterbauelemente bietet. Es integriert fortschrittliche Bildgebungs- und Steuerungstechnologie in eine einzige, leichte Plattform, die kompakt und einfach zu bedienen ist. Mit seinem hochauflösenden Bildgebungssystem und Hochleistungs-Laser-, Mikroskop- und Kamera-Subsystemen ist BeamPro in der Lage, eine Vielzahl von Waferstrukturen genau zu messen und zu analysieren sowie detaillierte Charakterisierungsdaten bereitzustellen. PHOTON BeamPro hat drei Hauptkomponenten: die Strahlquelle, den Strahlprojektor und den Strahldetektor. Die Strahlenquelle erzeugt eine Lichtsäule, die mittels des Strahlprojektors auf einen Zielbereich des Wafers gerichtet wird. Der aus der Ferne angeordnete Detektor misst die Intensität und Richtung des durch das Zielgebiet hindurchtretenden Lichts. Mit diesen Messungen wird dann ein detailliertes 3D-Profil des Wafers erstellt, das wertvolle Informationen über seine strukturellen Eigenschaften liefert. BeamPro kommt auch mit einer Reihe von Software-Tools für die Datenanalyse. Dazu gehören eine Reihe von mehrdimensionalen Bildverarbeitungsalgorithmen, die eine genaue Analyse komplexer Waferstrukturen ermöglichen, sowie spezialisierte Werkzeuge zur Messung bestimmter Parameter wie Widerstand, Mobilität, Kapazität und Stromverbrauch. Darüber hinaus bietet das Gerät eine Umgebung zur Automatisierung von Datenerfassungs- und Analyseprozessen, die eine effiziente Chargenverarbeitung von Messdaten ermöglicht. Abschließend ist PHOTON BeamPro eine erschwingliche und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Dank seiner fortschrittlichen bildgebenden Funktionen und seiner vielseitigen Software-Suite ist es eine ideale Lösung, um eine Vielzahl von Wafereigenschaften effizient und kostengünstig zu messen.
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