Gebraucht REHDER ET-3 #293657669 zu verkaufen
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REHDER ET-3 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik mit hohem Durchsatz für Wafer bis 300 mm Durchmesser. Es vereint höchsten Durchsatz, Genauigkeit und Vielseitigkeit in einem einzigen System. ET-3 Gerät ist mit den neuesten optischen und multifunktionalen Werkzeugen ausgestattet, die die Messung von nahezu allen Arten von Wafern ermöglichen. Es verwendet eine einzigartige „Dual-View“ -Maschine, die Bildgebung mit niedriger Vergrößerung zur Musteridentifikation und Bildgebung mit hoher Vergrößerung für auflösungsbasierte Messungen kombiniert. Es bietet auch mehrere On-Board-Sensoren, einschließlich Infrarotkamera, sichtbare Kamera, Laser-Profiler und ein 3D-Mikroskop, bietet unübertroffene Flexibilität bei der Messung von Parametern wie z Tiefe, kritische Dimension, Merkmalsprofil, Oberflächenstruktur und Korngröße. REHDER ET-3 Werkzeug verfügt über mehrere, austauschbare Stufen, die einen schnellen Probenaustausch und Messung bei einer Vielzahl von Temperaturen und in einer Vielzahl von Atmosphären ermöglichen, so dass es eine ideale Wahl für eine breite Palette von Test- und Fertigungsumgebungen. Mehrkanal-Optik kann verwendet werden, um die Geschwindigkeit der Düsen-zu-Düsen-Messungen zu erhöhen und gleichzeitig dazu beizutragen, jeglichen Abfall durch Fehlausrichtung von Proben zu verhindern. Das Asset nutzt die automatisierte Bearbeitung und Ausrichtung von Mustern für eine reduzierte Bearbeitungszeit und einen verbesserten Durchsatz. Die erweiterte Software-Suite für ET-3 bietet eine breite Palette von Analysefunktionen von der allgemeinen Wafer-Charakterisierung bis hin zur erweiterten Feature-Analyse. Es ist darauf ausgelegt, umfassende Charakterisierungsdaten in der gleichen Messzeit bereitzustellen, um Prozesskorrekturen in Echtzeit zu optimieren. REHDER ET-3 bietet eine einzigartige Kombination aus fortschrittlichen Tools und Funktionen in Kombination mit einer leistungsstarken Software-Suite, die es zu einem unschätzbaren Werkzeug zur Verbesserung der Waferqualität macht. Die hohe Leistung, Genauigkeit und Vielseitigkeit des Modells machen es zur idealen Wahl für Qualitätskontrolle, Tests und Forschung und Entwicklung in der Halbleiterindustrie.
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