Gebraucht RUDOLPH MetaPulse 200 #293813130 zu verkaufen

ID: 293813130
Thickness measurement system.
RUDOLPH MetaPulse 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die von RUDOLPH Technologies für einen höheren Durchsatz und eine erhöhte Genauigkeit bei der Prüfung von Halbleitern und elektronischen Bauteilen entwickelt wurde. Das System verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Abtastkopf zur Prüfung auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Silizium-Chips und anderen Halbleitermaterialien. Es verfügt auch über erweiterte messtechnische Funktionen, einschließlich Bildgebung, Messung kritischer Dimensionen (CD) und Fehlererkennung. RUDOLPH META PULSE 200 verwendet ein extrem genaues Strahllenkungs-Subsystem, um nanoskalige Merkmale und Defekte mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit genau zu messen. Dies wird erreicht, indem der Strahl über eine einzigartige adaptive Optikeinheit auf das Substrat ausgerichtet wird und anschließend der Strahlfokus bzw. Einflussbereich über einen gekrümmten Reflektor und Linsen gesteuert wird. Darüber hinaus ermöglicht es das adaptive Optikwerkzeug der Maschine, Änderungen in Temperatur, Feuchtigkeit und anderen Variablen, die den Strahl beeinflussen können, automatisch zu kompensieren. Die Anlage enthält auch eine Reihe spezialisierter Sondenköpfe, die jeweils für halbautomatische Wafer-Sondierung oder manuelle Tests angepasst sind. Diese Sondenköpfe sind so konzipiert, dass sie auch in anspruchsvollen Umgebungen präzise und zuverlässige Ergebnisse erzielen. Die 300 mm Dual-Head-Sonde nutzt eine piezoelektrische Stufe zur Sondierung bis in Nanometergenauigkeit. Die 200 mm Einkopfsonde erhöht die Genauigkeit mit einem hochgenauen divergierenden/konvexen Lichtweg und ist ideal für Messungen von nicht planaren Wafern. RUDOLPH eingebettete Fehlererkennungsalgorithmen sind mit einer rauscharmen CCD-Kamera gekoppelt und bieten die Möglichkeit, Fehler aus den komplexesten Topographien bei hohen Scangeschwindigkeiten schnell zu erkennen. Die hochauflösende OLED-Touchscreen-Schnittstelle bietet eine Echtzeit-Visualisierung des Inspektionsprozesses und ermöglicht die Anpassung des Modells an die spezifischen Anwendungsanforderungen. MetaPulse 200 entspricht auch den strengsten Sicherheitsanforderungen der Branche und bietet mehrere Ebenen der Benutzerauthentifizierung und -verschlüsselung sowie eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen. Es enthält auch verschiedene Diagnosefunktionen und Fehlerverfolgung, um die Betriebssicherheit zu gewährleisten. Die Geräte bieten eine einfache Integration in bestehende Netzwerke mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und umfassender Remote-Verwaltungsfunktion. Insgesamt kombiniert META PULSE 200 fortschrittliche messtechnische Fähigkeiten mit beispielloser Geschwindigkeit und Genauigkeit und ist damit das ideale Wafertest- und Messtechniksystem für die moderne Halbleiterherstellungsanlage.
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