Gebraucht RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #293665001 zu verkaufen

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu ist eine hochpräzise, zerstörungsfreie Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die sich für die kommerzielle Herstellung von Halbleiterbauelementen eignet. Es hat eine ausgezeichnete Genauigkeit für große Wafergrößen, mit einem großen Sichtfeld und einem hochauflösenden Bildsensor mit einem Dynamikbereich von bis zu 16 Bit. Darüber hinaus ist es in der Lage, elektrische Parameter, die die Geräteleistung charakterisieren, wie Beweglichkeit, wie Bogenwiderstand und Kontaktwiderstand zu messen. Das System umfasst eine 1000mm breite Bildrolle, zwei Lichtquellen, eine präzise lineare Bühnensteuerung und eine komplexe Optikeinheit. Es ist aus hochwertigem Stahl für Haltbarkeit und Temperaturstabilisierung, so dass eine zuverlässige Datenerfassung auch in unterschiedlichen und anspruchsvollen Messumgebungen. Die hochpräzise optische Bildgebungsfähigkeit von RUDOLPH METAPULSE 200XCU ist für die Erstellung eines elektrischen Charakterisierungsmodells auf Basis des Gerätelayouts ausgelegt. Diese Fähigkeit ermöglicht eine zerstörungsfreie mikroskopische Inspektion, wie die Charakterisierung von Mikrohohlräumen in Halbleiterbauelementstrukturen, die Berechnung der Oxiddicke und die Beurteilung anisotroper Effekte einer Vorrichtung. Die bildgebende Qualität ermöglicht eine hochauflösende Inspektion verschiedener Gerätestrukturen und Analyse zur Prozesssteuerung und Ausbeute. Die Datenerfassungsfunktionen von METAPULSE 200X CU können so konfiguriert werden, dass Parameter wie Wafer-Map, Kondensator, Contact/Via und Flat Prediction/Trend gemessen werden. Es ist mit einer integrierten Indexiermaschine konzipiert, die Wiederholbarkeit ermöglicht und die Datengenauigkeit während langer aufeinanderfolgender Messsitzungen beibehält. Darüber hinaus kann METAPULSE 200 X CU zur Charakterisierung der dynamischen Geräteleistung Daten mit Frequenzabstimmung sammeln und das Geräteprofil für einen Bereich von AC/DC-Vorspannungen von 0Hz bis 10MHz charakterisieren. Für die Datengenauigkeit unterstützt das Werkzeug auch die gleichzeitige Messung mit vielen elektrischen Sonden, um parasitäre Effekte wie Kontaktwiderstand zu erfassen. Es ist auch entworfen, um Messgeräusche und Datenfehler durch Kontaktspringen mit schnelleren Setzzeiten zu reduzieren. RUDOLPH METAPULSE 200 X CU ist auch leicht aufrüstbar und bietet einen hohen Datendurchsatz für eine effiziente Produktionsverfolgung. Die intuitive Benutzeroberfläche bietet eine einfache Konfiguration komplexer Messaufbauten und automatisierter Messungen, und die gesammelten Daten können einfach zur Analyse visualisiert werden. Insgesamt ist METAPULSE 200XCU mit seiner hohen Genauigkeit und Datenauswertbarkeit eine gute Wahl für die kommerzielle Herstellung von Halbleiterbauelementen.