Gebraucht RUDOLPH MP 200XCU #9250762 zu verkaufen

RUDOLPH MP 200XCU
ID: 9250762
Wafergröße: 8"
System, 8" Cu Film thickness measurement system.
RUDOLPH MP 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die genaue und umfassende Messdaten für IC- und MEMS-Geräte liefert. Dieses System besteht aus einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) mit fokussierter Ionenstrahl (FIB) -Technologie, einem Laser Interferometer (Interferom) oder einem Laser Scanning Confocal Microscope (LSCM) mit integrierter Hardware und Software zur topographischen Analyse von Schaltkreisen und Ger. MP 200 wurde entwickelt, um die Miniaturisierungsanforderungen moderner Halbleiterbauelemente zu erfüllen und bietet eine breite Palette von Analysefähigkeiten aus der elektrischen, optischen, magnetischen und Röntgenanalyse. Das Gerät ist mit einem hochauflösenden SEM ausgestattet, das für die Bildgebung, Analyse und Messtechnik verwendet wird. Seine FIB-Technologie ist in der Lage, präzise und genaue Mustermodifikationen durchzuführen, die für die elektrische Prüfung erforderlich sind. Die Laser-Interferometer-Maschine ermöglicht präzise Messungen von Flachheit und Änderungen kritischer Abmessungen (CD), während das konfokale Mikroskop eine 3D-Visualisierung beliebig orientierter Geräte ermöglicht. Für manuelle Messungen ist das Werkzeug mit einer vielseitigen Sondenstation ausgestattet, die zwei 4-Achsen-Stufen zur Feinausrichtung umfasst. Die Prüfprüfstation liefert quantitative Informationen zu Wafergeometrien, Profilformen und Schichtdicken. Es verfügt über eine Reihe von Sondierungs- und Bildgebungswerkzeugen, um den Betrieb zu automatisieren und etablierte Standards für die Maßhaltigkeit herauszufordern. RUDOLPH MP 200 enthält auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer schnell komplexe Experimente einrichten oder Messungen mithilfe einer intuitiven Bibliothek mit Beispielbildern simulieren können. Diese GUI enthält auch eine Reihe von Analysetools für die Datenpostverarbeitung und -berichterstattung sowie eine benutzerdefinierbare Logik zur Anpassung experimenteller Verfahren. Abschließend bietet MP 200 einen umfassenden Satz von Prüf- und Messtechnik-Fähigkeiten, die den Anforderungen der modernen Halbleitertechnologie gerecht werden. Seine leistungsstarke Hardware, intuitive Software und benutzerfreundliche GUI bieten eine kostengünstige Lösung für die Erfassung umfassender Daten auf ICs und MEMS-Geräten.
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