Gebraucht RUDOLPH WS 2500 #9244849 zu verkaufen
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ID: 9244849
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Wafer inspection system, 8"
2003 vintage.
RUDOLPH WS 2500 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für fortschrittliche Waferbearbeitungsanwendungen wie Lithographie und Ionenimplantation entwickelt wurde. Es bietet erweiterte Probeninspektionsmöglichkeiten für flache und gekrümmte Substrate auf Waferebene. Das System eignet sich besonders zur Messung der Gleichmäßigkeit von Waferdicke, Breite, Höhe und Oberflächenrauhigkeit über einen weiten Bereich von Wafergrößen. Es verfügt über ein hochpräzises optisches Mikroskop mit benutzerfreundlicher Optik und ergonomischem Design, das eine schnelle und zuverlässige Quer- und Höhenbildgebung der Proben ermöglicht. Ein erweiterter Algorithmus wird verwendet, um die erfassten Bilder zu verarbeiten und einen definitiven Pass/Fail-Analysebericht bereitzustellen. Das Gerät ist enorm vielseitig einsetzbar und kann eine Vielzahl von Wafern analysieren, einschließlich Glas, Quarz und sogar Kupfer. Es ist in der Lage, dünne Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 180 mm und einer Dicke von 65 mm zu testen. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine die automatische Nivellierung, so dass die Bühne auch dann eben sein kann, wenn die Arbeitsfläche des Bedieners nicht ist. Das Werkzeug bietet sowohl manuelle als auch automatische Ausrichtung, um die Ausrichtgenauigkeit von Wafer und Probe sicherzustellen, und ermöglicht Ätzstopp-Test, Messung der Probe Asymmetrie, 1-/2-dimensionale Gleichmäßigkeit und Foliendicke Tests. Darüber hinaus ermöglicht es eine berührungslose Messung des Krümmungsradius des Wafers. Es ist sogar mit Höhenempfindlichkeitsstufen bis zu 1 Angstrom erhältlich. Die Anlage ist auf Zuverlässigkeit und Robustheit ausgelegt und verfügt über eine industrielle Rahmenkonstruktion, die robust und vibrationsbeständig ist. Es ist auch hochempfindlich und präzise, mit minimalen Ausrichtungsfehlern, die konsistente Testdaten für eine effektive Wafer-Rückverfolgbarkeit bieten. Die Benutzeroberfläche ist mit größter Aufmerksamkeit auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es Benutzern, einfach und schnell Tests zu erstellen, einzurichten und auszuführen. Darüber hinaus wird die Datenerfassungs- und Analysesoftware in einem benutzerfreundlichen Format bereitgestellt. WS 2500 ist ein außergewöhnliches Wafer-Test- und Metrologiemodell, ideal für die fortschrittliche Waferbearbeitung. Mit seinen vielfältigen Funktionen, seiner Vielseitigkeit und seiner erstklassigen Präzision ist es die beste Wahl für jede Anwendung, die hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit erfordert.
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