Gebraucht RUDOLPH WS 3840 #9136132 zu verkaufen
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ID: 9136132
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Bump inspection system, 12"
Granite base air bearing XY stages
Vacuum chuck with rotation for 5", 6", 8" and 12" wafers
Z Slide for focus control and wafer loading / Unloading
OLYMPUS Optical head with 5 positions auto lens turret
Bright field lighting
Low angle dark field lighting
Objective lenses: 1.25x, 2.5x, 5x and 10x
4K TDI Line scan camera & electronics
Image frame grabber
Dual quad core XENON processor PC based 2D vision engine
Computer with 3.2GHz P4 processor
RAM: 1GB
Hard disk: 250 GB
(2) Hot swap bays
CDRW / DVDRW
Operating system: Window XP
Console arm with (2) flat panel color monitors
Keyboard and mouse
(4) Positions light tower
Data analysis and reporting
Color defect review
Mini-environment fan / Filter units (ISO Class 2)
Electronic wafer maps (KLAINF, EF, WWW, Semi G85 and SECS S12)
721713 Option
Xport
Wafer scanner
ISO Class 1 clean high speed wafer handling EFEM outfitted
With dual arm robot
Wafer thicknesses: (725um)
Down to 400 microns thickness for 12" wafers
Down to 190 microns thickness for 8" wafers
Automated whole wafer handling
Dual arm vacuum assist backside wafer handling
Minimal contact end effector
Integrated laminar clean air flow mini-environment (ULPA Filtration)
Robot with integrated mapper
721753 2 Option
Bridge load port
BROOKS Vision / Cassette pivot, 8"
XENON Dual quad processor 2D vision engine
72054 1 Option, 3D Inspection, Hi Res 3D Sensor
High resolution: 4 MHz
3D Sensor scans up to a .6mm swath
Depth of field: 200um
1U Rack mount chassis
Dual INTEL quad-core XENON processor 2.5 GHz
DRAM: 2GB
SATA Hard disk drive: 250 GB
CD ROM Drive
Ethernet
RUDOLPH PCIDSP Board
(5) Microns ultra high resolution 3D sensor
716983 1 Standard, 3D Height Verif Wafer, 100um, 300mm
716810 1 Option, Dual OCR
X Port
66807 1 Computer, Remote defect review
Wafer capability, 8"-12"
Ultra flat chuck: <5 Microns chuck
2010 vintage.
RUDOLPH WS 3840 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für Halbleiterbauelementeunternehmen. Es ist ein automatisiertes System, um messtechnische Daten von mehreren Messgeräten zu integrieren und zu analysieren. Die Einheit besteht aus einer Reihe von Hochleistungs-Workstations, die mit einem zentralen Server verbunden sind und jeweils messtechnische Daten von einem einzigen Messgerät verarbeiten und speichern. Es ist in der Lage, mehrere Arten von Metrologie-Daten zu verarbeiten, einschließlich Waferbereich, Tonhöhe, die Größe der Form und die Platzierung der Form. Die Maschine ist hochgenau und wiederholbar, kann Änderungen in der Gerätestruktur schnell erkennen und analysieren. Es verfügt auch über erweiterte 2D-Bildgebungsfunktionen zur Analyse von Fehlerzählungen und Waferfunktionen wie Vorsprüngen und Stempelanzahl. Das Tool enthält auch eine Vielzahl weiterer Funktionen, darunter einfach zu bedienende und intuitive Software, mit der Benutzer Analysedaten schnell einrichten und darauf zugreifen können. Es verfügt auch über ein parametergesteuertes Asset, das die Anpassung von Analysedaten, Ausgabeformaten und Benutzereinstellungen ermöglicht. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, verwendet das Modell die Mustererkennung, um kleine Konstruktionsvarianten zu erkennen und zu analysieren. Dazu gehört eine adaptive Optik, die den Fokus einstellen oder eine verbesserte Beleuchtung durch eine Linsenanordnung ermöglichen kann. Die Ausrüstung ist mit einem robusten Design gebaut, was eine hohe Zuverlässigkeit und Haltbarkeit ermöglicht. Es bietet auch erweiterte Skalierbarkeit, so dass Benutzer problemlos große Metrologieaufgaben ausführen können. Schließlich bietet das System ein hohes Maß an Sicherheit und ermöglicht Fernzugriff und -betrieb. Es entspricht mehreren Industriestandards und verfügt über umfassende Support-Services, einschließlich Installation, Schulung und Wartung. Abschließend ist RUDOLPH WS3840 eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die den Anforderungen von Halbleiterbauelementeunternehmen gerecht wird. Es bietet Anwendern eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die genaue und effiziente messtechnische Tests ermöglichen.
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