Gebraucht RUDOLPH WS 3840 #9198059 zu verkaufen

RUDOLPH WS 3840
ID: 9198059
Automatic optical inspection machine.
RUDOLPH WS 3840 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Herstellung, Prozessentwicklung und Prozesssteuerung von Halbleiterbauelementen. Das System bietet eine breite Palette hochgenauer Tests und Prozesskontrollen, die es Anwendern ermöglichen, alle Aspekte ihrer Waferprozesse effizient zu überprüfen und zu analysieren. Das Gerät beinhaltet ein High-End, computergesteuertes Mikroskop mit hoher Geschwindigkeit, zoomfähig, schnell fokussiert motorisiertes Objektiv und ein interaktives Softwarepaket zur Steuerung des Mikroskops und der Datenerfassung. Die hochwertige Optik des Mikroskops liefert eine überlegene Feldgleichmäßigkeit und weniger Kantenverzerrung, was eine genaue Analyse der Probeneigenschaften ermöglicht. Das optische Design verwendet auch ein innovatives telezentrisches 4x5x10 mm, 0.08 μ m Objektiv, um auch bei extremen Vergrößerungen eine beispiellose Auflösung und Genauigkeit zu liefern. Die Maschine verfügt über eine Vielzahl automatisierter Prüf- und Messtechniken, darunter hochauflösende Bildgebung, automatisierte Kantenerkennung, integrierte spektrale Bildgebung, hochpräzise Beugungsbilder und eine breite Palette von Algorithmen zur Mustererkennung. Das Tool ist auch mit Softwaremodulen zur automatischen Kalibrierung und Auswahl von Mikroskopparametern wie Fokuslänge, Fotografengröße, Position, Blendengröße und Fokustyp ausgestattet. Das Asset bietet volle Kontrolle über die Plattform für die detaillierte Analyse verschiedener Schritte im Herstellungsprozess, wie Wafer-Inspektion, Photolithographie, Ätzen, Trockenstreifen, Nassstreifen und Fehlerüberprüfung. Das Modell bietet auch mehrere Methoden zur schnellen Inspektion von getesteten Proben, wie die Overlay-Messtechnik und das Binning von Werkzeugbildern und die kritische Dimensionsmesstechnik. Die Ausrüstung konzentriert sich auf genaue Messungen auf Nanometerebene, auch im Umgang mit kleinen Merkmalen, die schwierig zu messen und zu inspizieren sein können. Das System wurde entwickelt, um Details mit einer Auflösung von 0,2 bis 0,5 nm aufzulösen, sodass Benutzer hochgenaue Ergebnisse erzielen können. Darüber hinaus ist die Software für eine schnelle und genaue Datenerfassung konzipiert, wodurch bis zu acht Wafer gleichzeitig getestet und überwacht werden können. Zusammenfassend ist RUDOLPH WS3840 eine äußerst vielseitige und präzise Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Mit seinem leistungsstarken Mikroskop, automatisierten Prüf- und Messtechniken und innovativen Softwarefunktionen ist dieses Tool die ideale Wahl für genaue Messungen in der Halbleiterindustrie.
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