Gebraucht RUDOLPH WS 3840 #9392887 zu verkaufen

RUDOLPH WS 3840 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für die hochempfindliche Analyse von Wafereigenschaften entwickelt wurde. Das System wird von Forschern geschätzt, da seine hervorragende Genauigkeit und Reproduzierbarkeit auf einer Kombination von optischen und Röntgentechniken basiert. Es verwendet fortgeschrittene optische und Röntgentechniken, um verschiedene Eigenschaften eines Wafers wie Dicke, Linienbreite, Kantenschärfe und Mustereinheitlichkeit in hoher Auflösung abzubilden und zu messen. RUDOLPH WS3840 besteht aus einem Metrologiemodul, einer Proberplattform und einem Softwarepaket. Das Messtechnikmodul besteht aus mehreren Komponenten, wie einem optischen Mikroskop, einer SEM-Einheit, einem ladungsgekoppelten Gerätedetektor (CCD) und einer Bühnenpositioniereinheit. Das Optikmodul der Maschine verwendet sichtbares Licht, um Proben in einem hohen Vergrößerungsbereich (bis 25,000X) zu beobachten und die Konturen von Merkmalen auf dem Wafer sowie deren Position zu messen. Die SEM-Einheit des Werkzeugs führt eine Röntgenanalyse durch, bei der ein Elektronenstrahl an die Probe gesendet wird, um ein Bild der Fläche zu erzeugen. Der CCD-Detektor erfasst Informationen aus den Bildern, die sowohl vom Optikmodul als auch von der SEM-Einheit erzeugt werden, was auch die quantitative Messung der Merkmale auf dem Wafer ermöglicht. Schließlich übernimmt die Proberplattform den Wafertransport und die Probenhandhabung, wodurch der Wafer zwischen dem Metrologiemodul und dem Prober bewegt werden kann, der die Kontaktpads zur Prüfung konturiert. Das Softwarepaket der Anlage ermöglicht die Datenerfassung, -verarbeitung und -analyse der Ergebnisse. Darüber hinaus bietet das Modell Funktionen wie eine automatisierte Waferausrichtung agnostisch der Waferorientierung und -typ, sowie verbesserte Stufenpositioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit. Dies wird durch die mehrfachen Fehlerprüf- und Korrekturfunktionen des Geräts verbessert, wodurch vom Bediener auferlegte Fehler reduziert werden. Zu den weiteren Funktionen gehören anpassbare Datenbanktechniken, die eine individualisierbare Speicherung von Daten und die langfristige Speicherung von Ergebnissen ermöglichen. Das System bietet auch fortschrittliche Sicherheits- und Kontrollfunktionen in industrieller Qualität, einschließlich eingebauter Sicherheitsverriegelungen und Strahlungsabschirmung. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die Einheit keine Beschädigungen des gelieferten Wafers verursacht, wodurch kostspielige Verluste oder Beschädigungen vermieden werden. WS 3840 ist eine hochentwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die speziell entwickelt wurde, um den Anforderungen fortschrittlicher Forschung hinsichtlich der Charakterisierung von Wafereigenschaften gerecht zu werden. Es bietet verschiedene Merkmale und Fähigkeiten in Bezug auf Genauigkeit, Sicherheit und Analyse, so dass es ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für die Messung der hochsensiblen Eigenschaften eines Wafers. Durch die Kombination von hochauflösenden optischen und Röntgentechniken zu einem einzigen Werkzeug ist WS3840 in der Lage, zuverlässige und genaue Ergebnisse zeit- und kostengünstig zu liefern.