Gebraucht SCI FilmTek 2000 #9186490 zu verkaufen

SCI FilmTek 2000 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um fortschrittliche, genaue Messungen einer Reihe von Halbleiter- und Photovoltaik-Waferbearbeitungsparametern bereitzustellen. Der Kern des Systems ist das FilmTek 2000 Unit Core Modul, das von einem leistungsstarken Multi-Core-Prozessor angetrieben wird. Dieser Prozessor bietet eine hochgenaue Datenverarbeitung sowie eine robuste Echtzeitsteuerung der Maschine. Es kann für bis zu acht verschiedene optische Prüfköpfe konfiguriert werden. Das Tool ist mit mehreren fortschrittlichen Optiksystemen ausgestattet, darunter Visible Systems, Near Infrared Spectroscopy (NIR) und Scanning Electron Microscopy (SEM). Das Optikpaket Visible Systems umfasst optische Inspektionen im hellen und dunklen Feld, die Messung der Waferreflexion und der Streuwinkel zur genauen Messung einer Reihe von messtechnischen Merkmalen wie Trockenätzreste, Gleichförmigkeit der Nanostruktur und Elektronenstrahllithographie (EBL L). Das NIR-Asset wird zur Messung der Dünnschichtdicke verwendet, während das SEM-Modell eine detaillierte Analyse von Materialien und Prozessen ermöglicht und zur Messung kritischer Abmessungen verwendet werden kann. Für Testvorgänge stehen eine breite Palette von Probenstufen zur Verfügung. Optionen umfassen manuelle und automatisierte Stufen; für manuelle Stufen können Benutzer Parameter in Echtzeit mit einem Joystick oder Handrad anpassen. Das Gerät kann auch zweiachsige mechanische Stufen zur Inspektion großer Flächen aufnehmen. Der Temperaturbereich des Systems wird durch PID-Schleifen im geschlossenen Kreislauf gesteuert und gewährleistet, dass Tests und Messungen unter optimalen Bedingungen durchgeführt werden. Eine integrierte Hochgenauigkeits-Mikroskopieversion bietet Genauigkeit von bis zu 1 Mikron auf Probenparametern. Es gibt eine breite Palette von Software zur Datenerfassung und -analyse, einschließlich ImageJ, STK11 und SYNPRO. Aus Tests erzeugte Daten können auf der Bordeinheit gespeichert und analysiert oder in eine externe Datenbank übertragen werden. SCI FilmTek 2000 Machine Core ist in einer Reihe von Konfigurationen erhältlich, die auf spezifische Kundenanforderungen und Anwendungsanforderungen zugeschnitten sind. Es eignet sich gut für industrielle Forschungs- und Entwicklungslabore sowie F&E- und Waferbearbeitungsanlagen.