Gebraucht SENSYS SMS-2000 #144008 zu verkaufen

SENSYS SMS-2000
ID: 144008
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Scatterometer, 8", 2000 vintage.
SENSYS SMS-2000 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen. Es bietet unübertroffene Spindel- und globale Planalitäten sowie überlegene Analyse- und Waferkantenerkennungsfunktionen. Es wurde mit einem vollautomatischen Wafer-Handling und Wafer-Transfer-System gebaut, was die arbeitsintensiven Operationen im Zusammenhang mit manuellen Wafer-Tests und Messtechnik reduziert. Das Gerät besteht aus einer automatisierten physischen und zerstörungsfreien Wafer Transfer Machine (WTS), zwei Steuergehäusen und zwei manuellen Lade- und Entladestationen. Das WTS bietet Präzisionsbewegungssteuerung, die eine genaue und wiederholbare Übertragung von Testsubstraten ermöglicht. Die drei Spurpegelregelpunkte messen die Spalt- und Spindelparameter und ermöglichen eine hochpräzise Messung des Wafers. Die planaren Analyse- und Waferkantenerkennungsmodule sind mit dem WTS integriert, um die globale Planarität des Wafers zu messen und Kantenschäden oder Fremdpartikel zu identifizieren. SMS-2000 unterstützt verschiedene messtechnische, bildgebende und Testanwendungen, einschließlich 3D-berührungsloser Messtechnik, kritischer Dimensionsmesstechnik (CD) und messtechnischer Fehlerinspektion. Es kann verschiedene Arten von Fehlertypen und -größen auswerten, so dass es verwendet werden kann, um ICs mit internen Schaltungen hoher Dichte und mehreren messtechnischen Anwendungen zu analysieren. Darüber hinaus eignet es sich aufgrund seiner schnellen Wafer-Wechselkurse für die Serienproduktion fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte. Das Werkzeug verfügt über eine hochauflösende Messanlage zur präzisen Charakterisierung von Nanometergeräten. Es ist mit verbesserter Optik und einem Hochleistungs-Laserstrahl ausgestattet, der eine hochgenaue Abbildung von beugungsbegrenzten Bildern aus Halbleiter-Dünnschichtstrukturen ermöglicht. Darüber hinaus unterstützt es proprietäre Multifunktionsanalysen, die eine schnellere Messung als herkömmliche Einzelfunktionsanalysen ermöglichen. Neben seinen technischen Fähigkeiten bietet SENSYS SMS-2000 eine robuste Softwareschnittstelle für die einfache Integration des Modells in übergeordnete Software-Suiten. Die benutzerfreundlichen Menüs ermöglichen einen schnellen und intuitiven Zugriff auf Geräteeinstellungen und Datenanalysen. Darüber hinaus kann das System konfiguriert werden, um eine Reihe von Berichten zu erstellen, einschließlich umfassender Testergebnisse, zusammenfassender Statistiken und Vergleichsdaten. Insgesamt ist SMS-2000 eine außergewöhnliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit. Es ist einfach einzurichten, bietet präzise Ergebnisse und bietet beispiellose Zuverlässigkeit. Damit ist sie die ideale Wahl für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen.
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