Gebraucht SIEMENS WalkAway 96Si #9231383 zu verkaufen

SIEMENS WalkAway 96Si Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein voll funktionsfähiges, automatisiertes, Inline-Messsystem, das den Durchsatz bei zuverlässiger Leistung und genauen Ergebnissen maximiert. Die 96Si Einheit kombiniert hochpräzise optische Messungen, fortschrittliche Fehlerbildgebung und automatisiertes Wafer-Handling und bietet eine umfassende Wafer-Prozess- und Inspektionslösung. Die Maschine ist in der Lage, Wafer bis zu 930mm Länge und 630mm Durchmesser zu messen und kann bis zu 6 Wafer gleichzeitig handhaben. Das Tool verfügt über eine optische Messtechnik mit mehreren Sensoren, die auf Laserinterferometern und mehreren Messtechnikkanälen basiert und eine hochpräzise 3D-Oberflächenmesstechnik ermöglicht. Das 96Si verfügt auch über eine Reihe von Fehlerbildfunktionen, einschließlich hochauflösender Inspektion und optischer Mikroskopie, die die automatische Identifizierung und Klassifizierung einer Vielzahl von Fehlern ermöglichen, von Defekten, die so klein wie die Einzelatomgröße sind, bis hin zu den größten häufigen Fehlern. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, bis zu zehn Raster mit 4.600 Stichen auf einem einzigen Wafer zu positionieren, was eine hochgenaue und wiederholbare Positionierung und Kartierung von Wafern ermöglicht. Die 96Si Ausrüstung ist vollautomatisiert und bietet integrierte Wafer-Handhabung, automatisierte Fehlerüberprüfung und detaillierte, waferübergreifende Analysefunktionen. Ein integriertes thermisches Kontrollsystem hält stabile Probentemperatur, um Verzerrungen während der Hochpräzisionsmessung zu minimieren, während ein automatisierter Kalibrierungsprozess Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit der Ergebnisse gewährleistet. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, mit Host-Computern zu interagieren, Wafer direkt zur Maschine zu transportieren oder über einen Förderer zu übertragen, wobei die Statusüberwachung und Alarmberichterstattung direkt an das Host-Tool generiert wird. Das 96Si Asset bietet die branchenführenden Automatisierungs- und Messfunktionen, die für eine genaue und zuverlässige Waferbearbeitung erforderlich sind. Das Modell wurde entwickelt, um die Effizienz zu maximieren, so dass Benutzer eine breite Palette von automatisierten Routinen mit minimaler Rüstzeit und Wartungsanforderungen programmieren können. Die integrierte Wafer-Handhabung, Fehlerbildgebung und fortschrittliche messtechnische Merkmale der 96Si sorgen für präzise und zuverlässige Messergebnisse für eine verbesserte Prozesskontrolle, Ausbeute-Optimierung und Wafer-Qualitätssicherung.