Gebraucht SLOAN Dektak 303 Auto II #9124954 zu verkaufen
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ID: 9124954
Thin film measurement system
Measuring range: 100 A to 1310KA
Vertical resolution: 1A in the 65000A
10A in the 655KA
20A in the 131 Micron
Data points per micron: 0.04 to 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 point programmable or cursor leveling
Maximum sample thickness: 1.75 inches
Sample stage diameter: 6.375 inches
Stylus: 12.5 micron.
SLOAN Dektak 303 Auto II ist eine automatisierte Ausrüstung zur Messung von Schritthöhen verschiedener Halbleiterbauelemente. Dieses vielseitige und kostengünstige System ist mit fortschrittlicher optischer Mikroskopie und digitalen Abbildungsmöglichkeiten ausgestattet, die eine präzise Messung der vertikalen Bewegung vom Kontaktprofil zur ebenen Oberfläche eines Halbleitersubstrats ermöglichen. Das Gerät ist in der Lage, Leistungsgrößen bis zu einem Mikrometer mit hoher Präzision zu messen, was es ideal für die Messung der Schritthöhen von Wafern in einer Vielzahl von Dicken und Substraten macht. Die Maschine verwendet ein optisches Mikroskop mit einem telezentrischen Objektiv und einer geneigten Kamerafassung, die dem Benutzer eine hohe Vergrößerung der Waferoberfläche ermöglicht. Das Objektiv soll ein klares Bild der Kontaktpunkte auf die Bildebene projizieren und gleichzeitig Bildverzerrungen und optische Aberrationen minimieren. Zusätzlich verwendet das Tool ein Dual-Achsen-computergesteuertes Auto-Focus-Asset, das sicherstellt, dass jedes Feature genau gemessen wird. Das gesamte Modell wird über eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit Farbmonitor, Tastatur und Mauseingabe betrieben. Dieses intuitive Design ermöglicht dem Anwender die Kontrolle über alle Präzisionsschritte während der Messung, einschließlich Bühnenbewegung, z-Höhenkalibrierung, Sensorkalibrierung und Fokus. Darüber hinaus umfasst das Gerät Software-Algorithmen zum Verfolgen, Messen und Analysieren von Wafern von verschiedenen Stellen auf dem Probensubstrat. Dektak 303 Auto II ist auch mit einem hochauflösenden CCD-Abbildungsretikel ausgestattet, das eine genaue Ansicht der Probenoberfläche ermöglicht, so dass der Benutzer Schritthöhen mit einer hohen Genauigkeit messen kann. Die verstellbare Position des Retikels ermöglicht es dem Benutzer, das Sichtfeld zu steuern, wodurch es für eine breite Palette von Substraten und Größen geeignet ist. Darüber hinaus ist das System in der Lage, bis zu 256 Messungen pro Feld zu speichern, um Messungen zu wiederholen und die Zeit für die Datenerfassung zu reduzieren. Insgesamt ist SLOAN Dektak 303 Auto II ein effektives Wafertester und Messtechnik-Tool. Die Kombination aus fortschrittlicher optischer Mikroskopie und digitaler Bildgebungstechnologie macht es ideal für die Messung von Schritthöhen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche und das verstellbare Retikel machen die Maschine benutzerfreundlich und einfach zu bedienen und eignen sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen.
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