Gebraucht SSM 470i #9157376 zu verkaufen
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ID: 9157376
CV Plotter
Dual wafer test capability
Dual nickel plated wafer chucks, 8"
(4) Micropositioners
SSM Capacitance measurement unit
SSM CV Multiplexer
HEWLETT-PACKARD / AGILENT E3612 DC Power supply
Input power: 208V, 3Ph, 60 Hz.
SSM 470i Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein umfassendes System, das entwickelt wurde, um hochpräzise, wiederholbare Messungen von Halbleitern und verwandten Materialien bereitzustellen. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: einer optischen Inspektionseinrichtung, einer Prüfvorrichtung und einer integrierten Datenerfassungseinheit. Das optische Inspektionsgerät verwendet eine Vielzahl von Mikroskopen und Vergrößerungslinsen, um Fehler zu identifizieren und feine Merkmale auf der Oberfläche eines Wafers wie Linienbreiten, Ätztiefe, Oberflächenbelastung und andere zu analysieren. Dies geschieht, indem Bilder eines abgetasteten Bereichs aus dem Wafer aufgenommen und dann Software-Algorithmen angewendet werden, um die Funktionen genau zu klassifizieren und zu quantifizieren. Die Prüfvorrichtung ist so konzipiert, dass die Probenscheibe exakt auf der optischen Prüfeinrichtung positioniert wird und bietet integrierte Heiz-/Kühlmöglichkeiten, um optimale Abbildungsbedingungen zu erreichen. Mit Schrittmotoren und Mikropositionierern ist die Vorrichtung auch in der Lage, die exakte Ausrichtung der Probenscheibe zum Mikroskop zu gewährleisten. Die integrierte Datenerfassungsmaschine ist für die Erfassung und Speicherung der erfassten Daten verantwortlich, die schließlich für vom Werkzeug erzeugte messtechnische Berichte verwendet werden. Die Datenerfassung umfasst auch integrierte Software-Tools zum Einstellen von Parametern, zum Steuern des Modells und zum Analysieren der erfassten Daten. Zusammen machen das optische Inspektionsgerät, die Prüfvorrichtung und die integrierte Datenerfassungsausrüstung des 470i Wafer Testing and Metrology System es zu einer leistungsfähigen und zuverlässigen Einheit für Fehlererkennung, Waferinspektion und messtechnische Analyse. Durch seine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit kann die Maschine exakte und konsistente Messungen erzeugen, die für kritische nachgeschaltete Prozesse wie Optimierung von Prozessparametern oder Ausbeute-Analyse verwendet werden können.
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