Gebraucht SSM / SOLID STATE MEASUREMENTS SRP 150 #9404387 zu verkaufen

SSM/SOLID STATE MEASUREMENTS SRP 150 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist eine integrierte Plattform für Forschungs- und Produktionsanwendungen. Es ermöglicht extrem hohe Genauigkeit und hohe Geschwindigkeitsleistung für Messungen und Inspektionen von Dünnschichtstrukturen und Dünnschichtprozessen, die für die Geräteproduktion verwendet werden. SSM SRP 150 System kombiniert eine breite Palette von Mess- und Inspektionsmöglichkeiten mit fortschrittlicher Robotik für präzise Positionierung und hohen Durchsatz. Die integrierte Plattform umfasst ein automatisiertes Dünnschicht-Messtechnik-Modul, ein Dünnschicht-Prozess-Inspektionsmodul und eine Wafer-Handhabungseinheit. Das Metrologiemodul ermöglicht leistungsstarke Inline- oder Offline-Messungen von Dünnschichtstrukturen und Dünnschichtprozessen. Es ist in der Lage, Dünnschichtmaterialien von wenigen Nanometern bis zu mehreren Millimetern Dicke zu messen. Das Modul verwendet hochpräzise Atomkraftmikroskopie (AFM) -Sonden sowie fortschrittliche Optik und hochempfindliche Detektoren, um Dünnschichtstrukturen genau zu messen und zu inspizieren. Die Maschine ist in der Lage, Foliendicke, Oberflächentopographie, Oberflächenrauhigkeit, Oberflächenprofil und andere Parameter zu messen. Das Prozessinspektionsmodul ermöglicht die Erfassung und Auswertung von Dünnschichtprozessen. Es verwendet eine Reihe von Sensoren und Detektoren, um Temperatur, Kraft und Vibration zu messen. Das Werkzeug ist in der Lage, solche Prozesse wie Abscheiderate, Abscheidegleichmäßigkeit, Gleichmäßigkeit der Dünnschichtdicke und Defekteigenschaften zu messen. Das Wafer Handling Asset integriert ein Robotermodell, ausgeklügelte Motion Control Algorithmen, Lasermesstechnik und Vision Systeme. Das Gerät ist in der Lage, die Wafer mit hoher Positioniergenauigkeit und Wiederholgenauigkeit präzise zu positionieren. Das Roboterscheibenhandhabungssystem ist in der Lage, Wafer verschiedener Größen und mit verschiedenen Schichten von Dünnschichtmaterialien zu handhaben. FESTKÖRPERMESSUNGEN SRP 150 Einheit ist für Anwendungen konzipiert, bei denen Präzision und Genauigkeit unerlässlich sind, wie Dünnschichtabscheidung und andere Dünnschichtprozesse in der Halbleiterindustrie. Es eignet sich für Inspektion und Messung in Forschung und Produktion Anwendungen, einschließlich Filmtechnik, QA/QC, Gerät statische und dynamische Charakterisierung und Fehleranalyse. SRP 150 Maschine ist eine fortschrittliche, integrierte Plattform, die nicht nur ultra-hohe Genauigkeit und hohe Geschwindigkeit Leistung für Wafermessungen und Inspektionen bietet, sondern auch eine Reihe von leistungsfähigen Werkzeugen für die Prozessentwicklung, Charakterisierung und Bewertung. Mit fortschrittlicher Robotik, ausgefeilten Algorithmen, hochpräzisen AFM-Sonden, fortschrittlichen Optik- und Sehsystemen ist SSM/SOLID STATE MEASUREMENTS SRP 150 ein unverzichtbares Werkzeug für Forschung und Produktion in der Halbleiterindustrie.