Gebraucht SURFTENS OEG #9043976 zu verkaufen

SURFTENS OEG ist ein spezialisiertes „Wafer-Prüf- und Messtechnik“ -System zur Detektion von dielektrischen Partikelverunreinigungen auf Halbleiterscheiben während des Herstellungsprozesses. Es verwendet eine optische Emissionsspektroskopie (OES) -Methode, um Kontaminationspartikel in außergewöhnlich hoher Auflösung zu erkennen, zu klassifizieren und abzubilden. Die Inspektion von Halbleiterscheiben ist ein entscheidender Schritt in der Montage und Herstellung, und es ist wichtig, Fehler zu erkennen und zu minimieren, die die Leistung beeinträchtigen könnten. OEG wurde entwickelt, um hochauflösende Bilder der Waferoberfläche aufzunehmen und diese Bilder dann zu analysieren, um etwaige Fehler zu erkennen. Insbesondere nutzt das System die OES-Spektroskopie zur Partikelidentifizierung und -kartierung. Diese Analyse detektiert Partikel, die aufgrund ihrer spektralen Emission unter Infrarotstrahlung aus leitfähigen, isolierenden oder halbleitenden Materialien bestehen. Die Ergebnisse der Analyse werden dann in einer Partikelkarte dargestellt, die die Konzentration verschiedener Partikeltypen über das Sichtfeld zeigt. Diese Partikelkarten können zur Identifizierung von Kontaminationsgebieten verwendet werden, die dann weiter analysiert werden können, um die höchsten Ausbeuten einer zuverlässigen Waferproduktion zu gewährleisten. Die Genauigkeit und Auflösung des Systems machen es besonders vorteilhaft, um schwer auffindbare Fehler, wie z.B. Mischen, zu erkennen. Dies geschieht, wenn ein konzentrierter Bereich von Kontaminationspartikeln in einem einzigen Bild schwer nachweisbar ist, aber durch Sortieren der Partikelgröße und Zusammensetzung in der OES-Analyse identifiziert werden kann. Dies ermöglicht sowohl Ertragsverbesserungen als auch Kosteneinsparungen, da weniger Reinigungsschritte zur Beseitigung von Verschmutzungen erforderlich sind. Der Gesamtvorteil von SURFTENS OEG ist die Fähigkeit, Partikelverunreinigungen mit höchster Genauigkeit und Auflösung zu erkennen und zu klassifizieren und dabei Zeit und Geld zu sparen. Seine OES-Spektroskopie-Methode liefert detaillierte Informationen schnell und präzise, um ein qualitativ hochwertiges Produkt am Ende des Prozesses zu gewährleisten.