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TAYLOR HOBSON TalyStep
ID: 9009074
Profilometer.
TAYLOR HOBSON TalysStep ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Dieses System ermöglicht es Herstellern und Ingenieuren, Waferoberflächenvariationen zu analysieren, um die Geräteleistung zu optimieren. Es bietet berührungslose, präzise Messungen der Nicht-Gleichmäßigkeit der Oberfläche und verwendet fortschrittliche Wafer-Bildgebungstechnologie, um Oberflächenmuster und Defektmerkmale zu erkennen, zu messen und zu analysieren. Die TalysStep-Einheit verwendet fortgeschrittene bildgebende Sensoren, um den Wafer präzise zu drehen und nimmt Bilder unter diskreten Beugungswinkeln auf, um ein sogenanntes „Shadowgram“ zu erhalten. Ein 'shadowgram' ist eine visuelle Darstellung der 3D-Kontaktfläche des Wafers, mit der Oberflächenmuster und Defektmerkmale erfasst, gemessen und analysiert werden können. Durch die Merkmale der TalysStep-Muster- und Profilanalyse kann eine präzise berührungslose Oberflächenmesstechnik und Charakterisierung erreicht werden. Die TalysStep-Maschine hat gegenüber anderen Wafer-Prüfsystemen mehrere Vorteile. Beispielsweise ist es in der Lage, Einpunkt-berührungslose Messungen mit einer hohen Wiederholbarkeit der Ergebnisse vorzusehen. Das Tool verwendet fortschrittliche Optik- und Bildgebungssensoren, um eine vollständige 360-Grad-Oberflächenanalyse bereitzustellen. Darüber hinaus verfügt TalysStep über eine zweistufige automatisierte Wafer-Positionierung, die eine hochgenaue Wafer-Zentrierung und -Stabilisierung ermöglicht und zuverlässige Messungen garantiert. TAYLOR HOBSON TalysStep bietet auch eine breite Palette von Visualisierungswerkzeugen zur Verbesserung des Waferanalyseprozesses und ein integriertes Fehlerüberprüfungs- und Klassifizierungsmodell, um die Zeit für die Analyse von Waferdefekten zu reduzieren. Darüber hinaus kann die TalysStep-Ausrüstung problemlos an größere Fabrik-Automatisierungssysteme angeschlossen werden, was eine fehlersichere Wafer-Identifizierung, Wafer-Sortierung und automatisierte Wafer-Messtechnik ermöglicht. TalysStep ist ein fortschrittliches und zuverlässiges System, das eine präzise Messtechnik und Charakterisierung von Waferoberflächen ermöglicht. Es ist eine gute Wahl für Hersteller und Ingenieure, die nach schnellen, genauen und zuverlässigen Wafer-Testlösungen suchen.
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