Gebraucht THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9105608 zu verkaufen
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ID: 9105608
Wafergröße: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Fan: Clean Air Products P/N: CAP109BH
(1) Diffuser, Large
(1) Diffuser, Small
(2) Monitors
Printer, P/N: P-90W
(1) AC Power Conditioner, P/N: 012-007
(1) Monitor Chase Video
(1) Brooks PRI Robot
Input: 1Ø, 110V, 50/60Hz, 7.5/10A.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für schnelle zerstörungsfreie Messungen der Waferqualität und Gleichmäßigkeit in Halbleiterprozessen konzipiert ist. Durch die Kombination von fortschrittlichen optoelektronischen Sensoren und Abtast-/Abbildungsoptiken ist das System in der Lage, auch kleinste Abweichungen in den Wafereigenschaften zu erkennen. Zu den Hauptmerkmalen der Optiprobe- 26000B gehören: hochgenaue und wiederholbare optische Messungen bis zu einer Auflösung von 1,3 µm, berührungslose Infrarot-Bildgebung und Online-Echtzeit-Prozess-Feedback. Die laserbeleuchtete Optik von CO2 oder YAG misst RMS, Oberflächenrauhigkeit, Ebenheit und kritische Dimensionen. Das Gerät kann Positionen der Wafer, Fehlerabdeckungsprozente und Voiding-Pegel genau messen. Die fortschrittliche Partikelerkennungsmaschine der Optiprobe 26000B misst genau die Anzahl der Partikel auf Wafern, um eine optimale Waferqualität und Oberflächenleistung zu gewährleisten. THERMA-WAVE OPTI-PROBE 2600-B ist für den Halbleiterherstellungsmarkt konzipiert und ist ein ideales Add-on für jede bearbeitete Wafer-Charakterisierungs-Workstation. Es kann einfach in bestehende Test- und Prozessleitsysteme integriert werden. Seine Ferndiagnosefunktionen ermöglichen eine gleichzeitige Fehlerbehebung und Reparatur, wodurch minimale Ausfallzeiten und maximale Laborproduktivität gewährleistet sind. Das Tool läuft auf einem LINUX und UNIX Betriebssystem und unterstützt Windows- und Macintosh-Umgebungen. Die erweiterbare Software ermöglicht eine einfache Anpassung und Integration mit bestehenden Maschinen und unterstützt eine Vielzahl von Hardware- und Softwarekomponenten von Drittanbietern. Es verfügt auch über eine offene Architektur, die eine Reihe von Prozesssteuerungssystemen wie Windows NT, Alpha und LabVIEW problemlos integrieren kann. OPTI-PROBE 2600 B ist die perfekte Lösung für jeden Chiphersteller, der zuverlässige und genaue Wafertests und Messtechnik sucht. Sein robustes Design und seine Eigenschaften machen ihn zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Herstellung von Wafern.
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