Gebraucht THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 #293824685 zu verkaufen

ID: 293824685
Film thickness measurement system.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Inspektion und Prozessüberwachung von Halbleiterbauelementen. Das System besteht aus zwei Teilen: der optisch-elektrischen Sondeneinheit (OEP) und der Thermal Wave Unit (TWS). Die OEP besteht aus einer hochempfindlichen optisch-elektrischen Sonde für berührungslose elektrische Messungen im Bereich von 5 μ m bis 10 mm. Das TWS liefert schnelle Temperaturanstiege oder thermische Wellenmessungen, die helfen können festzustellen, ob ein integrierter Schaltkreis (IC) korrekt funktioniert. Das OEP verwendet eine CCD-Kamera mit einem langen Arbeitsabstandsziel, um sowohl optische als auch elektrische Eigenschaften von Wafern zu messen. Zur Messung des elektrischen Widerstandes wird in Kombination mit dem OEP ein Diodenlaser verwendet, wobei auch eine optische Inspektion der IC- und dielektrischen Schichten durchgeführt werden kann. Diese hochempfindliche und robuste Maschine kann potenzielle IC-Ausfälle wie fehlende Vias, rissige Bindungen und kurze Hosen in Sekundenschnelle erkennen. OPTIPROBE 2690 verfügt auch über das Thermal Wave Tool, das mit einem gepulsten Laser einen Temperaturanstieg im Wafer induziert und das resultierende optische Signal misst. Diese Anlage ist in der Lage, verschiedene Arten von IC-Defekten zu erkennen, einschließlich Hotspots, Leckagen, kurze Hosen und schlechte Lötqualität. Für genaue und zuverlässige Messungen sind eine Reihe von Sensoren und Signalaufbereitungskomponenten in das TWS integriert. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 ist eine ideale Lösung zur Fehleranalyse, Prozessüberwachung und Bewertung der Geräteleistung. Es ist eine effiziente, kostengünstige und nicht-invasive Testlösung, die in der Lage ist, verschiedene Arten von elektrischen, physikalischen und mechanischen Versagen in ICs und Wafern zu erkennen. Darüber hinaus gewährleistet sein automatisierter Betrieb einen schnellen und konsistenten Testprozess, der die Möglichkeit von menschlichem Versagen beseitigt.
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