Gebraucht THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 #9111927 zu verkaufen
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ID: 9111927
Weinlese: 1999
Film thickness measurement system
BPR, BPE, AE, SE, BB, SM
1999 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für Präzisionsmessungen von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine fortschrittliche optische Bildgebungsplattform, die eine Inspektion und genaue Messung von Kontakt-/Bondpads ermöglicht, sowie einen hohen Durchsatz für die Auswertung auf Waferebene bietet. Das System bietet Submikron-Auflösung und Präzision, die eine zerstörungsfreie Prüfung und genaue Analyse kritischer Geräteeigenschaften ermöglicht. Das Gerät nutzt eine fortschrittliche 3D-Scan-Technologie, um detaillierte Informationen von der Waferoberfläche zu erhalten, die eine genaue Messung kritischer Abmessungen wie Höhe, Durchmesser und Kontaktwiderstand des Bondpads ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über antireflektive Beschichtungstechnologie, um Wafer über die Exposition zu reduzieren, was zu genauen und wiederholbaren Ergebnissen führt. OPTIPROBE 5240 ist mit einem hochauflösenden digitalen Bildgebungswerkzeug ausgestattet, das in der Lage ist, kritische Geräteparameter wie Gatedicke, Tortiefe, Kontaktgröße, Kontaktmetallisierung, Gerätemaskenausrichtung und andere kritische Parameter zu messen. Das Asset ist auch in der Lage, kritische Fehler im Wafer zu identifizieren, wie Nadelspuren, Hohlräume und andere Fehler mit hohem Seitenverhältnis. Das Modell THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 ist auch mit einem umfassenden Messtechnik-Softwarepaket ausgestattet, das es dem Anwender ermöglicht, Linien-Scan, Panorama- und 3D-Bildgebung durchzuführen. Diese Software enthält auch eine farbcodierte grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Messergebnisse schnell identifizieren und analysieren können. Die Ausrüstung ist auch mit automatischen Tuning-Funktionen ausgestattet, so dass eine einfache Integration in die Produktionslinie Test Setup. Darüber hinaus verfügt OPTIPROBE 5240 über einen Hochleistungsmotor für schnelles und genaues Scannen sowie eine Autofokus-Funktion für eine optimale Bildgebung. Das System umfasst auch eine Vielzahl von benutzerdefinierbaren Einstellungen, einschließlich Datenerfassungsgeschwindigkeit und Bildkalibrierungsoptionen. Das Gerät verfügt über die Kapazität, genaue und wiederholbare Messungen mit minimalen Ausfallzeiten und geringeren Maschinenkosten zu erzeugen. Darüber hinaus verfügt es über eine intuitive Benutzeroberfläche und Diagnoseausgänge, so dass es eine ideale Wahl für große Serien ist.
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