Gebraucht THERMA-WAVE OPTIPROBE 7341 #9123268 zu verkaufen
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ID: 9123268
Weinlese: 2003
Film thickness measurement system
Twinstar robot
2003 vintage.
THERMA-WAVE Optiprobe 7341 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik zur Messung der Oberfläche und Topographie von Halbleiterscheiben und zur Messung von Dünnschichtmaterialien. Es ist ein hochgenaues, zerstörungsfreies Messsystem, das eine überlegene 3D-Oberflächencharakterisierung von Halbleiterscheiben und Dünnschichtmaterialien ermöglicht. Das Gerät wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Messungen durchzuführen, darunter: Oberflächenrauhigkeit, Schritthöhe, Breite, Tiefe, Kontur- und Querschnittsflächenprofilmessungen. Optiprobe 7341 ist in der Lage, hohe Seitenverhältnisse sowie niedrige Seitenverhältnisse, Wafer mit Scangeschwindigkeiten von bis zu 270 mm pro Sekunde (bis zu 1000 mm pro Sekunde bei langer Ansicht) zu messen. THERMA-WAVE Optiprobe 7341 ist in der Lage, eine Vielzahl von quantitativen Daten im Zusammenhang mit der Oberfläche und Topographie des Wafers zu erzeugen. Dazu gehört ein umfassendes Spektrum an technischen Qualitätssicherungsmetriken von Zernike-Koeffizienten bis hin zur stereographischen Darstellung. Optiprobe 7341 ist auch in der Lage, hochauflösende Bilder und eine Vielzahl anderer Ausgänge, einschließlich relativer Höhe und Farbbilder, zum visuellen Vergleich und zur integrierten Fehlererkennung zu erzeugen. THERMA-WAVE Optiprobe 7341 ist mit einer integrierten Software-Suite ausgestattet, mit der Anwender maßgeschneiderte messtechnische Anwendungen mit minimaler Programmierung entwickeln können. Die Software ist einfach zu bedienen, intuitiv und funktionsreich, so dass Benutzer Daten schnell analysieren, Trends identifizieren und Berichte einfach erstellen können. Die Software bietet auch leistungsstarke, bildbasierte Fehlererkennungsfunktionen. Optiprobe 7341 ist eine vollautomatisierte Maschine, die die anspruchsvollsten Anforderungen an Produktionstests erfüllt, indem sie Anwendern hochpräzise Ergebnisse auf einer Vielzahl von Wafertypen und -größen liefert. Es ist mit einem optischen Mikroskop, einem Touchscreen-Controller und einem automatisierten Sondenwerkzeug ausgestattet. Das Prüfelement besteht aus einer Z-Stufe, die einen kontinuierlichen Scan der Probenoberfläche ermöglicht. Das Mikroskop verfügt über eine hochauflösende Digitalkamera, um Bilder der zu scannenden Oberfläche zu erfassen. THERMA-WAVE Optiprobe 7341 ist ein ideales Wafer-Prüf- und Metrologiemodell für die Produktion von großvolumigen Halbleitern und wurde entwickelt, um Wafer in einer Vielzahl von Bearbeitungs- und Inspektionsschritten zu messen. Seine leistungsstarken Softwarefunktionen ermöglichen es Anwendern, schnell automatisierte 3D-Charakterisierungsergebnisse auf Halbleiterscheiben zu erhalten und rechtzeitige und genaue Messgrößen für die Identifizierung, Fehleranalyse und Prozessoptimierung von Waferdefekten zu generieren.
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