Gebraucht THERMA-WAVE TP 300 #93220 zu verkaufen
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THERMA-WAVE TP 300 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die zuverlässige und genaue Daten für die Auswertung verschiedener Wafermaterialien und -prozesse liefert. Es ist mit fortschrittlicher Software und Hardware ausgestattet, um höchste Standards bei der Überwachung und Charakterisierung von Waferprozessen zu bieten. Es verfügt über eine robuste LED-basierte Nahinfrarot (NIR) -Lichtquelle, die für eine überlegene Gleichmäßigkeit und einen Lichtdurchsatz über alle Teilfelder ausgelegt ist und eine präzise Messung verschiedener Waferparameter wie Dicke, Ebenheit und Brechungsindex ermöglicht. Das System ist mit einem Einelement-diffraktiven optischen Element (DOE) ausgestattet, das in der Lage ist, eine extrem genaue Winkelmessung im nahen sichtbaren und infraroten Bereich durchzuführen. Sein einzigartiges Design sorgt für hochauflösende Daten zur Auswertung verschiedener Prozesse über weite Wellenlängenbereiche. TP 300 ist eine vollautomatische Einheit mit integrierter Probenbewegung, die einen hohen Durchsatz und überlegene Datengenauigkeit bietet. Es bietet auch eine Echtzeit-Messfähigkeit für mehrere Standorte, die vergleichende Echtzeit-Messungen von bis zu 24 Probenstandorten ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte grafische Benutzeroberfläche eine effiziente Bedienung durch vereinfachte Steuerungsfunktionen, Anzeigen von messtechnischen Ergebnissen und die Speicherung von bis zu 1000 Rezepten. THERMA-WAVE TP 300 bietet dank Hochgeschwindigkeitsausrichtmaschine, Tiefensensor und Endeffektor eine hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit sowie zusätzliche Funktionen wie programmierbare Werkzeugoffsets, automatisierte Kalibrierungsfunktionen und eingebettete Bordsoftware mit Echtzeit-Updates. Was seine technischen Spezifikationen betrifft, arbeitet das Werkzeug bei einer minimalen Wellenlänge von 350nm und einer numerischen Apertur von 0,15, mit der Fähigkeit, bis zu 25 Messstellen in einem Durchgang zu messen. Es hat auch eine X-Y-Stufengenauigkeit von 10 μ m und eine Wiederholbarkeit von 5 μ m. Insgesamt ist TP 300 eine hochpräzise Wafer-Test- und Messtechnik-Komponente, die erweiterte Funktionalität und Flexibilität bietet und dazu beiträgt, Produktqualität und zuverlässige Daten für eine effektive Prozessüberwachung sicherzustellen. Dieses Modell bietet robuste Funktionen, um maximale Leistung und präzise Messungen zu ermöglichen, was es zu einer idealen Wahl für Hersteller von Wafern macht.
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