Gebraucht TOKYO KEIKI MAC-92CV #9226139 zu verkaufen
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ID: 9226139
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1997
Reticle inspection system, 6"
1997 vintage.
TOKYO KEIKI MAC-92CV ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Sie dient zur Messung der Dicke von Waferfilmen, laserinduzierter Beanspruchung und anderer elektrischer Eigenschaften sowie zur Prozesssteuerung und Waferinspektion. Das System selbst besteht aus einer zentralen Pumpe, hochempfindlichen Druckaufnehmern und einem Multiport-Parallel-Kapazitätsmanometer. Die Zentralpumpe ist drehzahlveränderbar und kann einen maximalen Druck von 78,8 MPa liefern und sich bei bis zu 150 Zyklen pro Minute drehen. Die hochempfindlichen Druckaufnehmer in der Einheit sind geräuscharm und können den Druck innerhalb von 0.0001MPa genau messen, während das Multiport-Parallelkapazitätsmanometer zur Messung der Waferfolien, Waferspannungen und anderer elektrischer Eigenschaften verwendet wird. MAC-92CV verfügt über eine ausgeklügelte Steuerungsmaschine, die es den Benutzern ermöglicht, alle relevanten Parameter des Werkzeugs wie Druck, Geschwindigkeit und Temperatur zu überwachen und zu steuern; und ist auch in der Lage, eine breite Palette von Tests zur umfassenden Prozess- und Produktkontrolle durchzuführen. Diese Tests können zur Messung von Folienzusammensetzung, Spannungs- und Abbaugraden sowie zusätzlicher Eigenschaften eines Wafers und seiner Folien verwendet werden. Darüber hinaus kann das Asset auch für Wafer-Oberflächenmapping und Wafer-Inspektion verwendet werden, um die Produktqualität und Prozesskontrolle zu überwachen. TOKYO KEIKI MAC-92CV wurde mit überlegener Genauigkeit und Wiederholbarkeit konzipiert, was es zu einer idealen Wahl für Wafertests und messtechnische Anwendungen macht. Es ist extrem zuverlässig, einfach zu bedienen, kann sowohl für Labor- als auch Produktionsumgebungen verwendet werden und liefert ausgezeichnete Messungen und Ergebnisse.
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