Gebraucht VEECO / DEKTAK 8000 #9328743 zu verkaufen

ID: 9328743
Profilometer.
VEECO/DEKTAK 8000 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine präzise Messung der elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen und -materialien ermöglicht. Es bietet integrierte Hochgenauigkeitsprüf- und messtechnische Lösungen zur Optimierung von Prozesserträgen und Fertigungseffizienzen. VEECO 8000 verwendet fortschrittliche nanoskalige Analyse- und Bildgebungstechnologie, um zerstörungsfreie Messungen von gemusterten Oberflächen während des Fluges durchzuführen. Es hat Präzisionskraft-Feedback für bessere Auflösung, höhere Genauigkeitsmessungen und schnelleren Durchsatz integriert. Dieses System liefert qualitativ hochwertigere Ergebnisse, verbesserte Produktausbeute und geringere Kosten. Die integrierte motorisierte Stufe ermöglicht eine genaue Probenpositionierung innerhalb von 0,05 Mikrometern. Die eingebaute einstellbare Substratabbildungsfunktion und die automatische Ausrichtbarkeit setzen DEKTAK 8000 von anderen Systemen ab. Die große Bühnenfläche (400 x 400 mm) bietet Platz für verschiedene Wafergrößen und die Montagemöglichkeiten für Waferhalter bieten verschiedene Ansätze für die Produktion und Automatisierung mit hohem Durchsatz. Die refraktionsbasierten optischen Elemente innerhalb der Einheit ermöglichen eine Bildgebung von 0,07 µm bis > 400 µm. Der Sichtbereich wird durch die Fähigkeit erleichtert, die Probenoberflächentopographie in verschiedenen Höhen und in Bezug auf zwei optische Achsen zu betrachten. Mit diesen Messungen kann die Oberflächenintegrität von metallischen und dielektrischen Schichten erfasst werden. 8000 bietet auch eine Vielzahl von bildgebenden Funktionen, einschließlich Zeitraffer-Studien und konfokale Mikroskopie. Die integrierte Software bietet eine Echtzeit-Messdatenanalyse, die eine präzise statistische Prozesssteuerung für eine verbesserte Prozessüberwachung und -leistung ermöglicht. Insgesamt ist VEECO/DEKTAK 8000 eine integrierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die eine hohe Präzision der Messung der elektrischen Eigenschaften von Halbleitern und Materialien bietet. Es verfügt über automatisierte Ausrichtung und motorisierte Bühne, optische Auflösung von 0,07 µm bis > 400 µm und erweiterte Bildgebungsfunktionen, um die Oberflächenintegrität zu bestimmen. Die integrierte Software bietet zudem eine Echtzeitanalyse der Daten für eine verbesserte Prozessüberwachung und -leistung.
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