Gebraucht VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9379227 zu verkaufen
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VEECO Dimensions VX 330 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die den hohen Anforderungen der Halbleiterproduktion gerecht wird. Mit leistungsstarker Präzisionsmesshardware, fortschrittlicher Mikroskopopoptik und moderner Videoelektronik ermöglicht das System eine schnelle und genaue Messung von Wafern und Proben. Das Gerät verfügt über eine präzise dreiachsige Bewegungsplattform, die eine wiederholbare Scangenauigkeit über einen großen Arbeitsbereich mit einer X-Y-Z-Auflösung von bis zu drei Nanometern bietet. Eine hochauflösende Kamera kann Bilddaten mit einer Auflösung von bis zu 6 Mikrometern aufnehmen. Automatisierte Kantenzoom- und Targeting-Funktionen ermöglichen eine hohe Genauigkeit und schnelle Ausrichtung der Messungen. Die Maschine verfügt auch über eine leistungsfähige Graphit/Keramik-Probenstufe, die sowohl 150 als auch 200 mm Wafer aufnehmen kann. Unter Verwendung patentierter Hybrid-Piezo-Aktuatoren verfügt die Stufe über außergewöhnliche Linearitäts- und Hystereseeigenschaften für stabile, wiederholbare Ergebnisse. Selbstdiagnose und aktives Nivellieren machen Wafer schnell und präzise. Der VX 330 kommt mit fortschrittlicher Analysesoftware, die eine breite Palette von Anwendungen der Oberflächenmesstechnik adressiert, von Wafer Ebenheit, kritische Dimension (CD) Messungen, und Overlay-Ergebnisse, quantitative 3D-Kontur Bildgebung. Industrielle 3D-Bildgebungsalgorithmen ermöglichen eine schnelle und genaue 3D-Profilierung komplexer Proben. Kombiniert mit umfassenden statistischen Analysen, automatisierten Berichtsfunktionen und Archivierungswerkzeugen bietet das Tool eine umfassende Wafertest- und Messtechnik-Lösung für moderne Produktionsanlagen. Darüber hinaus ist das Asset architektonisch und Software-upgradable, bietet Migrationspfade zu neuen Technologien und verbessert Testdurchsatz und Wiederholbarkeit.
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