Gebraucht VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 #9063709 zu verkaufen
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ID: 9063709
Weinlese: 2002
Atomic force profiler
Model #: DUVx200
Long scan profiles: Die length (up to 100mm)
Profile stage: up to 100mm
1μm X-Y axis repeatability
6μm vertical range
Superior step height repeatability: <5Å - 0.1μm and 1μm steps (1σ ); 20 traces at
20μm/sec scan speed
Unsurpassed lateral resolution: Low force, small tip radius (<10nm nominal)
True dishing and erosion analysis
OneScan Profiling: Zoom in on long scans without loss of resolution
High speed profiling: Up to 200μm/sec
Auto tip evaluation
Automatic exchange in ~4 minutes
24-tips per cassette
Dual cassette for different tip types
Throughput:
7wph (5 sites) for profiles
5wph (5 sites) for images
Profiler mode:
Data points/scan: 262,000
Imaging mode:
512 x 512 data points
Up to 65μm square area scans
Die scale imaging
3D visualization and analysis software
Optics:
Dual optics with 150μm and 600μm viewing area
Low magnification optics (3mm viewing area)
Capacity: 10 kA
220-25- VAC, 3.6 A
2002 vintage.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 ist eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die es Herstellern ermöglicht, beschleunigte Lebenszyklustests und Zuverlässigkeitsbewertungen von aktuellen und nächsten Halbleiterbauelementen durchzuführen. Die High-End-Automatisierungsfunktionen und das optisch fähige Messtechnikwerkzeug des Systems bieten überlegene Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Prozesssteuerung und Dimensionsüberwachung. Die VEECO VX 200-Einheit wurde entwickelt, um bis zu drei Wafer gleichzeitig zu testen, wobei die Wafergrößen zwischen 2 und 8 Zoll im Durchmesser liegen. Darüber hinaus kann die Maschine Waferdicken von 200 bis 500 Mikrometer oder 1.500 bis 2.500 Mikrometer handhaben. Das Tool umfasst eine Reihe von Funktionen, darunter einen hochgradigen automatisierten Testcontroller, Unterstützung für hochdurchsatzgestützte computergestützte Testsysteme (CAT) und eine erweiterte Wafer-Sondenkarte. Diese Kombination von Funktionen ermöglicht eine schnelle automatisierte Prüfung und Messung von Prozessparametern und ergibt eine verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der objektiven Prüfung und Charakterisierung der Gerätefunktionalität. Das leistungsstarke optische Subsystem von DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 ist das wichtigste Asset des Asset und ermöglicht die Messung und Charakterisierung von Schlüsselmerkmalen wie Partikelgröße, Fehlerdichte, Chip-zu-Wafer-Ausrichtung und Substratdicke. Diese Messung und Analyse ermöglicht Geräteentwicklern die Optimierung von Leistung und Zuverlässigkeit. Die intuitive Benutzeroberfläche des Modells bietet einfachen Zugriff auf erweiterte Optionen zur Gerätesteuerung, einschließlich integrierter Messtechnikfunktionen, statistischer Software und Tools zur Prozessrückverfolgbarkeit. Darüber hinaus verfügt es über eine umfassende Palette von Softwareanwendungen, mit denen Benutzer problemlos auf Daten zugreifen, Instrumente kalibrieren und Tests durchführen können. Das VX 200-System wurde entwickelt, um den anspruchsvollen Prüf- und Messtechnikanwendungen standzuhalten. Sein robustes und zuverlässiges Design ermöglicht die Integration in moderne Produktionsumgebungen. Das Gerät ist mit einer breiten Palette von Prüf- und Messtechnik-Systemen kompatibel, und seine On-Board-Diagnose und Warnungen gewährleisten eine geringe Ausfallzeit der Maschine. Insgesamt ist VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 ein fortschrittliches Werkzeug, mit dem Hersteller schnelle, genaue und zuverlässige Wafertests und Messtechnik durchführen können. Die Kombination aus Automatisierungsfunktionen und leistungsstarken optischen Subsystemen ermöglicht Gerätedesignern die Überwachung und Charakterisierung wichtiger Eigenschaften, um die Leistung zu verbessern und die Geräteausbeute zu maximieren. Die robuste und zuverlässige Konstruktion der Anlage stellt sicher, dass sie den strengen Anforderungen moderner Fertigungsprozesse standhalten kann.
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