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VEECO Profilometer
ID: 293671953
VEECO ProFiler ist ein Wafer-Prüf- und Messsystem, das entwickelt wurde, um Parameter von High-End-Halbleiterchips wie Oberflächengeometrie, kristallographische Orientierung, Fehlergröße, Dotierung und Tiefe zu messen. Mit modernsten Automatisierungs- und digitalen Bildgebungstechnologien bietet der ProFiler ein breites Spektrum an messtechnischen Funktionen auf höchstem Anwenderkomfort. Der ProFiler ermöglicht die zerstörungsfreie Auswertung von Wafern von den komplexesten Chips bis hin zu einfachen MEMS-Strukturen. VEECO ProFiler verwendet austauschbare Scansonden, die hochgenau und empfindlich genug sind, um Unregelmäßigkeiten in elektrischen, materiellen und physikalischen Eigenschaften zu erkennen. ProFiler kann bis zu 4-Zoll-und 6-Zoll-Wafer scannen mit patentierten Mehrzeiger-Zoomfunktionen, die Parameter zu einer Nanometer-Auflösung messen können. Darüber hinaus bietet die integrierte computergesteuerte X-Y-Stufe mit MicronStep eine vollautomatische Leistung, die die Komplexität nichtlinearer Bewegungen während der Messungen reduziert. Das digitale CCD-Bild im Sender von ProFiler nutzt Streulicht, um Mikrostrukturen zu untersuchen, anstatt topographische Merkmale abzubilden. Es kann verwendet werden, um Merkmale wie nanoskalige 3D-Strukturen und Bereiche mit Lichtstreuung aufgrund von elektrischen Diskontinuitäten zu erkennen. Dies hilft, benachbarte Strukturen, Mängel und Defekte unter den gleichen Grenzen schnell und genau zu unterscheiden. Dies hilft, präzise Messungen für das Sondieren (Ätzen) und Modifizieren (Texturieren) zu liefern. Die benutzerfreundliche Oberfläche von VEECO ProFiler verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der der Benutzer schnell eine Messung einrichten kann. Es umfasst auch umfassende Datenanalysefunktionen, die es Anwendern ermöglichen, durch Wafertests gesammelte Daten zu studieren und auszuwerten. Zusammenfassend ist VEECO ProFiler ein hochgenaues und empfindliches Wafer-Prüf- und Messsystem, mit dem Parameter von High-End-Halbleiterchips gemessen werden können. Es verwendet austauschbare Scansonden, X-Y-computergesteuerte Bühne, CCD-Digitalbild im Sender und eine benutzerfreundliche GUI, um präzise Messungen für die Sondierung und Modifikation bereitzustellen. Darüber hinaus umfasst der ProFiler umfassende Datenanalysefunktionen, die bei der Untersuchung und Auswertung der durch Wafertests gesammelten Daten helfen.
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