Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293665803 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 150 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Messung von Topographie und Dicke von Halbleitern mit hoher Genauigkeit und Präzision verwendet wird. Dieses System verfügt über eine einzigartige ID-Tracking-Einheit, mit der Benutzer zuvor analysierte Wafer lokalisieren können, sowie eine integrierte Autofokus-Maschine zur genauen Ausrichtung des Wafers mit der Sonde und eine dreiachsige Stufe zur Positionierung des Wafers während des Tests. Darüber hinaus ist VEECO DEKTAK 150 in der Lage, Wafer bis 6 "Durchmesser zu messen und präsentiert einen Wafer innerhalb von 0,5 µm der Zielpositionierung. SLOAN DEKTAK 150 ist ein zerstörungsfreies Testwerkzeug, das einen vertikalen Stift verwendet, der von einem Spring Load Positioner (SLP) unterstützt wird, der Rückmeldung von einem Positionserfassungslaser-Interferometer (PSI) verwendet, das die Messung der Wafertopologie ermöglicht. In Verbindung mit der dynamischen Reichweitenverfolgung ist DEKTAK 150 in der Lage, den gesamten Bereich des Stiftweges in einem beliebigen Bereich zu nutzen und die Ausrichtung von Spitze zu Probe während der Messung beizubehalten. Der SLP-Vermögenswert wird auch verwendet, um die Dicke des Wafers zu messen. Dies geschieht unter Verwendung der Z-Servocontrol-Schleife, die durch Steuerung der Kraft des vertikalen Stiftes arbeitet. Durch die Einstellung der gewünschten Kraft verbleibt der vertikale Stift in derselben physikalischen Position wie die aufgebrachte Kraft. Beim Absenken der Kraft kann der Stift sich höheren Erhebungen des Wafers nähern, wodurch die Dicke des Wafers gemessen werden kann. VEECO/SLOAN DEKTAK 150 ist auch in der Lage, eine anomale Partikeldetektion bei der Messung des Wafers bereitzustellen. In diesem Modus wird die 3-Achsen-Stufe langsam über den Wafer bewegt, während der Stift die Topographie weiter misst. Jedes durch den Stift erfasste Objekt erhöhter Höhe ist im Modell eingeloggt und kann weiter analysiert werden. VEECO DEKTAK 150 verfügt auch über eine Reihe von Programmen, um seine Nutzung weiter zu nutzen und zu vereinfachen. Unter ihnen ist das KE-Analyse-Programm, das einen umfassenden Satz von KEs bietet, die verwendet werden, um Variationen in der Wafer-Topologie zu definieren, zu analysieren und zu vergleichen. Nach der Definition werden Merkmale iterativ verarbeitet und für weitere statistische und grafische Analysen kategorisiert. SLOAN DEKTAK 150 ist ein unschätzbares Werkzeug, das von Halbleiterbauelementeherstellern verwendet wird und ihnen hilft, ihre Produktion zu entwickeln, zu optimieren und zu diagnostizieren. Seine hochpräzisen Messungen und seine vielseitigen Funktionen machen es zu einem wertvollen Kapital für alle, die an Wafer-Tests und Messtechnik interessiert sind.