Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293810864 zu verkaufen
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die berührungslose und kontaktlose Messungen der Oberfläche von Halbleiterscheiben anbietet. Es ist mit einem fortschrittlichen optischen System ausgestattet, das eine Kombination aus Beugung und interferometrischen Techniken zur statischen und dynamischen Oberflächencharakterisierung verwendet. VEECO DEKTAK 150 verfügt über einen berührungslosen Oberflächenscanner, der zur genauen Messung der Krümmung, des Profils und anderer mikroskopischer Merkmale auf Waferoberflächen verwendet wird. Es ist in der Lage, verschiedene Oberflächenkonturen bis zu einem Bereich von 0,306 Mikrometer (30 nm) oder mehr zu messen und kann die Messungen auch in dreidimensionalen Datenpunkten erfassen. Um die Genauigkeit der Messungen zu gewährleisten, verwendet SLOAN DEKTAK 150 eine servomotorisch angetriebene z-Achsen-Stufe und ein fortschrittliches optisches Mikroskop mit integrierter Laserprofilierungseinheit. Zusätzlich wird das Gerät durch PC-basierte Software angetrieben, die die Datenerfassung, -manipulation und -analyse automatisiert. DEKTAK 150 ist auch mit einem Kontaktstift ausgestattet, mit dem der Widerstand eines Wafers oder einer Probe gemessen wird. Mit seinen hochgenauen Sensoren ist die Maschine in der Lage, eine Messauflösung von bis zu 0,1 nm zu erreichen. Der auf dem Werkzeug verwendete Stift besteht aus einer Vielzahl unterschiedlicher Sonden, so dass eine Vielzahl unterschiedlicher Messungen mit maximaler Flexibilität durchgeführt werden kann. Darüber hinaus verfügt VEECO/SLOAN DEKTAK 150 über eine autonome Inspektions- und Analyseeinrichtung, die zur Automatisierung des Messvorgangs sowie zur Verbesserung der Ergebnisse und der Wiederholbarkeit beiträgt. Insgesamt ist VEECO DEKTAK 150 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologiemodell, das hervorragende Ergebnisse liefert, wenn es in Wafer-Charakterisierungsanwendungen verwendet wird. Es ist sehr zuverlässig und genau und führt genaue Messungen mit minimaler Benutzerinteraktion durch. Mit seinen fortschrittlichen optischen Geräten und Kontaktstiften ist es in der Lage, verschiedene Oberflächenkonturen, Topographie und Widerstand zu messen. Damit ist SLOAN DEKTAK 150 ein ideales System für viele Wafer-Fertigungsprozesse.
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