Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 1600 #139297 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 1600 ist ein Wafer Messtechnik und Prüfgeräte ideal für präzise und präzise Oberflächenmesstechnik Messungen. VEECO DEKTAK 1600 kombiniert fortschrittliche Bildgebung, Bewegungssysteme und Software-Algorithmen, um hochauflösende 3D-Oberflächenmessungen von Halbleiterscheiben durchzuführen. Es ist für automatisierte Rauhigkeits-, Ebenheits- und Schritthöhenanalysen auf Waferebene konzipiert, um die hohen Anforderungen fortschrittlicher Halbleiteranwendungen zu erfüllen. SLOAN DEKTAK 1600 verfügt über ein präzises optisches System mit geschlossener Schleifenbewegungstechnologie für höchste Genauigkeit. Dazu gehört eine integrierte Abbildungseinheit für Zeilenabtastung, Scanfleckmessung und Flächenabtastfähigkeit. Es verfügt auch über eine automatisierte Chuck Handling-Maschine, die Ausrichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit beim Scannen mehrerer Wafer-Standorte gewährleistet. Das Werkzeug ist mit einer 3-achsigen motorisierten Stufe ausgelegt, die einstufige Messungen bis zu 20 μ m Höhe mit einer besten Wiederholbarkeit von 0,1 nm ermöglicht. DEKTAK 1600 ist in der Lage, eine breite Palette von Anwendungen und Materialien wie Standard, Nicht-Standard und weiche Materialien zu messen. VEECO/SLOAN DEKTAK 1600 ist mit zwei Betriebsarten ausgelegt. Der Scanmodus wurde entwickelt, um die Oberfläche des Wafers schnell zu erfassen, um Wafer-Stöße und -Schritte zu erkennen. Der kalibrierte Modus ist für Präzisionsmessungen ausgelegt, da er es dem Benutzer ermöglicht, spezifische Laserleistungspegel, Geschwindigkeit, Feldgröße und Fokustiefe festzulegen. Der Anwender kann zahlreiche Messparameter eingeben, einschließlich Integrationszeit, Datenniveau, Belichtungszeit, Verstärkung und Offset für hochgenaue 10 - 45 μ m Auflösungsmessungen. VEECO DEKTAK 1600 verfügt über fortschrittliche Software-Algorithmen zur Messtechnik, Analyse und Abbildung der Oberflächendaten für eine schnellere Prozesssteuerung. Es umfasst eine webbasierte grafische Benutzeroberfläche (GUI) und automatisierte Berichte auf Waferebene, um eine schnellere Prozessanalyse und Fehlerbehebung zu ermöglichen. Die automatisierte Datenerfassung und -analyse des Asset beseitigt auch manuelle Messfehler. SLOAN DEKTAK 1600 ist für den Einsatz in einer Reinraumumumgebung konzipiert, da es kein Gas, Vakuum, Flüssigkeiten oder Werkzeugmaschinen benötigt. Das Modell ist kompatibel mit den meisten branchenüblichen Labor- und Reinraumautomatisierungssystemen und verbindet sich über eine Ethernet-Verbindung direkt mit PCs und Datenarchiven. Es erfordert eine minimale vorbeugende Wartung und hat eine kompakte Bauweise für die Werksintegration.