Gebraucht VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293600243 zu verkaufen

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Messung der Flachheit der Waferoberfläche, der Filmdicke und anderer kritischer Waferparameter verwendet wird. Als technisch fortschrittliches Prüf- und Messsystem liefert VEECO DEKTAK 3030 hochgenaue Ergebnisse für eine breite Palette von Parametern, darunter Filmdicke, Oberflächenreflexion, spektrale Emission, Oberflächenrauhigkeit und Topographie. Die DEKTAK-Einheit basiert auf einem modularen Aufbau, der mehrere Konfigurationen ermöglicht. Sie besteht aus einer x-y-Stufe, einem z-Achsen-Bewegungsmodul, einem Muster-Schnittstellenmodul und einem z-Achsen-Muster-Manipulationsmodul. Die x-y-Stufe ist eine zweiachsige Hochgeschwindigkeitsstufe mit bis zu 12 Mikrozoll Auflösung und 16 bis 100 Nanometer Genauigkeit. Diese Stufe wird von einer mikrometergesteuerten Antriebsmaschine angetrieben, die eine reibungslose Leistung und erhebliche Tragfähigkeit bietet. Das z-Achsen-Bewegungsmodul ist aus einem ferrofluiddichten Schieber aufgebaut und kann sich in Schritten von 10 Sekunden Lichtbogen bewegen. Dieses Modul erhöht die Messgenauigkeit des Werkzeugs, indem es eine Probenmanipulation in drei Dimensionen ermöglicht. Das Muster-Schnittstellenmodul kann mit einer Vielzahl von Probenhaltern verwendet werden und erleichtert das genaue Laden von Proben auf SLOAN DEKTAK 3030. Es enthält ein Vakuum-Asset, das die Handhabung von Proben unterschiedlicher Größen und Formen ermöglicht. Schließlich ermöglicht das z-Achsen-Probenmanipulationsmodul eine genaue Steuerung der Position der Probe während der Prüfung. Dieses Modul umfasst einen ausgeklügelten mehrachsigen Linearantrieb, Kraft- und Drehmomentsensoren sowie ein Soft-Start-Feature. Die Testmöglichkeiten von DEKTAK 3030 umfassen eine breite Palette von Waferparametern, wie Filmdicke, Oberflächenreflexion, Spektralemission, Oberflächenrauhigkeit und Topographie. Das Modell ist in der Lage, detaillierte Musterrauhigkeitsprofile und Porenabstände sowie Gesamtmittelwerte der Langstreckenrauhigkeit (TRL) zu messen. Dies ermöglicht die Überprüfung der Ebenheit und Oberflächengüte der Wafer. Darüber hinaus kann VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 Dünnschichtdicke von fünf bis 500 nm sowie Dünnschichteigenschaften wie Beschichtungsgleichförmigkeit und optische Dünnschichtdicke messen. Insgesamt ist VEECO DEKTAK 3030 eine vielseitige und genaue Ausrüstung für die Prüfung und Messtechnik von Wafern und anderen Proben. Der modulare Aufbau, die hochgenaue Stufe und die Möglichkeiten zur Bearbeitung von Proben machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Überprüfung der Flachheit von Wafern und der Dünnschichteigenschaften. Dieses System bietet Laboren eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für Wafertests und Messtechnik.